多晶硅生产中

多晶硅生产中（共8篇）

多晶硅生产中 篇1

摘要：研究了不同供料与功率比值对多晶硅还原电耗和一次转化率的影响，对指导实际生产具有重要意义。

关键词：多晶硅；还原；供料与功率比值

进入21世纪以来，随着太阳能光伏发电技术的快速发展和广泛应用，多晶硅产业以惊人的速度迅猛发展和壮大。面对当前世界性传统能源日益枯竭和气候变暖的严峻形势，太阳能作为可再生洁净能源受到了各国的高度重视，许多国家都已将太阳能发电的原材料高纯多晶硅列为战略性材料。当前，在国内外市场的双重压力下，多晶硅价格一路降低，加上国内多晶硅生产成本远高于国际先进水平，使得国内各多晶硅企业面临极大的生存压力，因此如何降低生产成本已成为各企业的首要任务。本文主要围绕改良西门子法生产多晶硅的还原工序，对还原炉供料和硅棒功率等参数进行研究，为还原炉运行优化提供参考依据。

1多晶硅还原工序简介

多晶硅还原工序是生产多晶硅成品的环节，其核心设备是气相沉积反应器，也就是通常所说的还原炉，它的控制水平直接关系到多晶硅的产量、成本和质量。还原工序生产过程如下：一定摩尔比的氢气和三氯氢硅混合气在一定压力下通入到还原炉内，在直径8~15mm、长2.2~2.8m的导电硅芯上进行气相沉积反应生成多晶硅，硅棒表面温度控制在1050~1100℃，经过一定时间后长成规定直径的硅棒，反应同时生成四氯化硅、二氯二氢硅及氯化氢等副产物。

2研究方法

本文结合生产实际，在其他因素不变的情况下，将混合气流量与硅棒功率的比值作为研究对象，选取不同供料与功率比值的炉次进行对比，并对运行结果进行分析和总结。

3结果及讨论

3.1不同比值对电耗的影响

通过将还原炉供料与硅棒功率进行关联，得出了两者不同比值时的还原电耗情况，如图1所示。从上述趋势线可以看出，在还原炉供料与功率比值从0.5提至0.9的过程中，还原电耗变化呈抛物线趋势，即先快速下降，达到最低点后又逐步上升，这说明不同的进料比值对还原电耗的影响较大，当比值较小时，还原炉的进料量小，硅棒生长速度较慢导致电耗偏高；而比值较大时，还原炉的进料量增大，硅棒生长速度虽然加快，但同时混合气所带走热量也相应增加，同样也使得还原炉的电耗增加，因此，只有选择合适的供料与功率比值才能保证还原炉的电耗处于最佳水平。

3.2不同比值对一次转化率的影响

同样按照上述方法得出了不同供料与功率比值时还原炉的一次转化率情况。从上述曲线可以看出，在还原炉供料与功率比值从0.5提至0.9的过程中，一次转化率一直呈下降趋势，这是因为比值较小时，还原炉内供料较少，可供反应的物料相对不多，通入到还原炉内物料能够有效的参与反应，因此一次转化率较高；而当比值较大时，还原炉内供料较多，通入到还原炉内的物料有相当一部分还未参与反应就已被带出去，因此一次转化率较低。从上述数据分析可以看出，多晶硅还原电耗和一次转化率这两个指标在实际生产中存在一定矛盾，因此不同的企业需根据自身特点选取合适的供料与功率比值，已保证生产能够达到最佳的平衡点。

4结语

在实际的多晶硅还原生产过程中，根据自身还原炉的特点，研究并选取合适的供料与功率比值，对优化还原炉生产，降低还原电耗，提高一次转化率具有重要的指导意义。

参考文献：

[1]苗军舰等.西门子法生产多晶硅的热力学[J].无机化学学报,2007,(5):796.

多晶硅生产中 篇2

1 废气来源

改良西门子法工艺主要以冶金级硅粉和氯化氢为原料, 在高温下合成三氯氢硅, 经过精馏提纯后的三氯氢硅在高温和高纯氢气氛围中, 在还原炉内硅芯上进行气相沉积反应生产棒状多晶硅。该法生产多晶硅的主要工段包括三氯氢硅合成、精馏、还原、尾气回收和氢化等。在此过程中必然会有部分氯硅烷、氯化氢和氢气以废气的形式排出, 同时还包括系统的吹扫气、吸附塔反吹气等。

2 废气的主要处理工艺

根据废气的来源组分及环保要求, 多晶硅生产过程中废气的处理, 实际是对废气中的氯硅烷和氯化氢气体进行有效的去除处理。因此, 只需使处理后的废气符合氯化氢和二氧化硅的大气排放标准即可。目前, 多晶硅生产过程中废气的主要处理方法有水洗法、碱淋洗法和焚烧法, 其中碱洗法根据使用的材料分为氢氧化钠处理法和氢氧化钙处理法。下面将对上述主要方法进行简要描述。

2.1 水洗法

水洗法的主要原理是水与氯硅烷废气在几级串联的淋洗塔内发生水解吸收反应, 喷淋水可以大量吸收废气中含有的氯化氢和氯硅烷水解产生的氯化氢, 经过几级水解吸收处理后的废气达标排放。

2.2 碱洗法

碱洗法的原理与水洗法相似, 常用的碱液主要包括氢氧化钠和氢氧化钙溶液, 碱液与废气中的氯硅烷和氯化氢同样在几级串联的淋洗塔内或是密闭的反应釜内进行水解中和反应, 产生硅酸钠、氯化钠、或是硅酸钙、氯化钙、少量二氧化硅和水, 处理后的废气主要为氮气、氢气和水蒸气达标排放。碱液淋洗后产生的废碱水经中和压滤后固渣外运填埋。

2.3 燃烧法

燃烧法的主要原理是在有氧和助燃材料的条件下, 废气在燃烧炉内进行高温燃烧水解, 从而将废气转化为含有二氧化硅、氯化氢、少量氯气和水蒸气的高温烟气, 通过对高温烟气的换热、拦截和降温吸收, 以蒸汽的方式回收烟气中的热量, 同时以副产物的形式回收烟气中的二氧化硅和盐酸, 剩余烟气经淋洗后达标排放。

3 各种方法的特点

不管采用传统的水或碱洗法, 或是处理较为彻底的燃烧法处理废气, 各种方法都有一定的优劣性。传统方法处理废气时, 仅仅是将废气达标处理, 大量的资源浪费;燃烧法处理废气时, 能够将废气中的氯硅烷转化为具有一定经济价值的副产物, 达到资源的综合利用, 然而处理成本高是导致此方法并未广泛应用的瓶颈所在。具体各种方法的特点见表1:

4 废气处理方法的发展与建议

4.1 传统工艺的发展建议

对于传统废气处理工艺而言, 必须在达标处理的基础上实现资源综合回收利用, 切实减少资源浪费, 降低三废处理成本。目前, 已有部分企业开始进行传统工艺处理废气的新探索:

4.1.1 从多晶硅生产的源头出发, 优化上游单元的工艺运行参数, 减少废弃物的排放。

4.1.2 通过对废气组分和含量的分析, 在废气进入后续处理系统之前对废气

进行深冷或其他有效的回收工艺, 降低废气中氯硅烷的含量, 减少后续废气的处理成本;同时, 对于深冷回收的氯硅烷返回系统重新利用, 降低整个系统的硅耗和氯耗。

4.1.3 采用氢氧化钙处理废气时, 通过工艺的调整, 可以使反应生成的产物主要为氯化钙, 且满足工业生产要求出售;

4.1.4 用氢氧化钠处理废气时, 可将含有大量氯离子的上清液进行电解, 产生氢气、氯气和氢氧化钠进行重复再利用, 可大大降低生产成本;另一方面需继续研究对废气处理后产生的硅酸钠进行回收利用;

4.2 燃烧工艺的发展建议

对于焚烧工艺而言, 目前, 我们有以下建议:

4.2.1 实现焚烧炉、阀组及雾化系统的国产化, 降低设备的购买及折旧成本;

4.2.2 提高副产物的回收率和品位, 增加产品的经济价值;

4.2.3 实现系统热量的循环利用及提高回收蒸汽的利用率, 从而减少助燃材料的使用;

参考文献

[1]梁俊吾.电子级多晶硅的生产工艺[J].中国工程科学, 2000, 2 (12) :36-38.

多晶硅生产中 篇3

关键词：多晶硅；生产；能耗；节能对策；分析

前言：随着现代工业的不断发展和进步，多晶硅的产业也面临着巨大的考验，因为国外市场的经济危机等问题，所以对于我国多晶硅的价格进行压制。我国多晶硅的产量虽然一直都高于其他国家，但是多晶硅的生产成本很高，所以现如今我国多晶硅产业逐渐出现了亏损的现象。只有研究出真正的节能对策，才能够解决耗能过大、亏损等问题。

一、多晶硅的产业概况

多晶硅是现代社會中信息行业和太阳能产业发电的重要基础原材料，世界各国早已经将多晶硅列入战略性材料中，并且一直都有相关政策对其进行鼓励。虽然我国多晶硅的产量较高，但是由于生产工艺十分落后，所以我国对于多晶硅的需求一直都需要依赖西方国家的进口。随着近几年来我国工业技术的不断发展，仅仅2011年到2013年，我国多晶硅的产量就已经达到了8.3万、6.5万、8.5万吨，但是随着西方国家金融危机的不断影响，近几年来我国一些多晶硅企业已经破产倒闭。只有一小部分的产业依靠着节能技术和强大的经济实力在支撑。截止到2015年末，我国现如今正在运营并且的多晶硅企业有17家，多晶硅的总产量大概能达到17万吨。总的来说，只有有效的节能措施，才能够维持多晶硅的正常生产和运行，所以多晶硅生产只能够最重要的一项技术就是节能技术，降低多晶硅的能耗才是提升企业竞争力的主要措施[1]。

二、多晶硅的生产能耗的相关分析

现如今多晶硅的主流工艺能耗主要包括水电、煤和蒸汽的消耗，我国政府已经认识到了多晶硅生产耗能的严重性，所以将多晶硅生产的重点都放在了节能方面，现如今我国颁布的规范GB 29447-2012中就明确规定了多晶硅企业生产的能源耗能限额，我国现在已经有大部分企业都能够满足这项规范。现如今我国大部分企业在多晶硅的生产方面都将重点放在了节能耗能方面，但是不同的生产用途耗能也完全不同，比如高温氢化耗能为56KWh/kg-si，足足是底纹氢化耗能的5倍之多，所以为了最大程度上的控制耗能，现如今我国大部分企业都采用低温氢化来处理氯化硅，并且还在进一步的研究低温氢化技术，以求最大限度上的耗能，减少不必要的成本[2]。

三、多晶硅生产中能耗的节能具体对策

（一）还原炉节能。还原工序一直都是多晶硅生产的技术核心之一，也就是高纯度的三氯氢硅和氢气在高温条件下产生的高纯度多晶硅，这个过程占总耗能的三分之一。在实际过程中，只要通过热力学的计算和模拟计算，就能够确定多晶硅生产过程中的耗能情况，以新疆某企业为例，图1是多晶硅的耗能变化图。

从图1就能够清楚的了解到多晶硅在生产过程中的耗能情况，由于节能型还原炉随着原料越来越多，沉淀面积越来越大，内部热量也会越来越高，利用综合发热的效果，就能够最大程度上的降低耗能，解决了多晶硅快速生产的问题。

（二）冷氢化节能。多晶硅在生产过程中，每产一吨就会有20吨的副产物，我国现如今多晶硅的年产量约为17万吨，那就会产生300多吨的四氯化硅，如果处理不善，记忆对地球的生态环境造成威胁。以新疆某企业为例，该企业年产量为7.2万吨，如果不能够及时处理副产物，这对新疆地区的生态环境有着致命的威胁。只有才用冷氢化节能工艺，才能够最大程度上的减少多余的耗能[3]，反应公式如下：

3siCL4+2H2+Si=4SiHCL3SiCL4+2H2+Si=2SiH2CL2图2是最佳冷氢化节能反应变化效果图。

（三）还原尾气回收节能。多晶硅还原尾气中主要含有的成分有H2、HCL、SiHCL3等气体，所以现代工艺就会利用尾气中的气体成分来进行新型处理工艺，该工艺过程简单、易操作，并且组合忍受率很高，所以一经推出就收到了各个企业的热烈追捧。这项技术的本质其实就是采用加压冷凝工艺，将热流量和冷流量进行交换，这种方法能够最大程度上的降低运行成本，从而解决了我国工业生产中一直面临的“三费问题”。

（四）提纯系统节能。提纯系统节能将多晶硅行业的技术引入到BX双层网中，解决了多晶硅在提纯过程中出现的质量低、稳定性差以及耗能过高的问题。多晶硅中的三氯氢硅B<30ppta、P<50ppta，所以这样不仅能够提升可操作性，还能够将操作裕量一直维持在50%到150%之间，还能够将提纯效果提升65%到75%，有效的降低了耗能。

结束语：如何改良传统的多晶硅生产工艺是现如今多晶硅企业关注的重点，也是节能的重点，通过研究不难发现，只要利用还原炉装置，利用冷热流量的转换装置，就能够大幅度的降低多晶硅的生产耗能，还能够将一些副产物进行加工处理，回收利用，从而为地球的节能做出贡献。

参考文献：

[1]严大洲，杨永亮，张升学，司文学，马志华.多晶硅能耗分析与节能实践[J].电子科学技术，2014，02（19）：224-230.

[2]杨紫琪.多晶硅生产中能耗的分析及节能的途径[J].辽宁化工，2015，02（29）：180-182+186.

[3]甘若渊.浅析多晶硅生产中能耗的分析及节能措施[J].科技致富向导，2015，17（33）：162-165.

国家标准节水型企业多晶硅行业 篇4

（预审稿）编制说明

一、工作简况

1、立项目的及意义

硅产业作为有色金属工业重要的产业，其产品工业硅、有机硅和多晶硅，近年来一直受到国内外相关行业的关注。特别是多晶硅作为光伏发电以及电子半导体芯片产业的重要材料，其下游应用领域已经渗透到国防、军工、航天、通讯、新能源等各行各业中，其重要低位可不忽视。

多年以来，无论是工业硅、有机硅还是多晶硅，在美国、欧洲等市场都是作为战略性小金属。上世纪90年代，中国成功生产工业硅，并开始少量出口，欧美市场马上进行反击，对我国实施了25年以上的反倾销制裁。新世纪之后，我国有机硅行业突破技术封锁，实现产业化生产，欧美企业马上进行倾销打压其产业发展。同样在多晶硅方面，2008年之后，我国多晶硅生产逐步实现规模化生产，但是在海外企业倾销的背景下，2012年底多晶硅全行业停产。虽然在国家扩大光伏应用以及反倾销的政策支持下，多晶硅行业快速成长，但是来自海外的恶意倾销依旧延续。目前，我国硅产业发展取得的成绩来之不易，应将其定位至国家战略层次。

2016年底，多晶硅有效产能约21万吨/年 , 2017年上半年，多晶硅有效产能约24.3万吨/年, 其中江苏中能7.4万吨，新特能源3.6万吨，石河子大全2万吨，洛阳中硅1.8万吨，乐山永祥1.8万吨，青海亚硅1.5万吨，江西赛维1万吨，内蒙盾安0.8万吨，宜昌南玻0.8万吨，神舟硅业0.5万吨等，预计2017年底中国多晶硅产能已超过28万吨/年，多晶硅企业数量18家，2018年产能将进一步扩张，有东方希望、保利协鑫、北京利尔等多个多晶硅企业落户新疆，随着产能的逐渐增加，对资源的需求量也逐渐加大，对人类生存环境的不利影响也日益凸显，清洁生产、节能减排任务艰巨。为落实《中华人民共和国清洁生产促进法》等相关政策要求，实现国家节水目标，规范和指导企业的生产经营，制定该行业的节水型企业国家标准非常迫切。

2、任务来源

根据国家标准委《关于下达2017年第二批国家标准修订计划的通知》，全国节水标准化技术委员会（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会）归口，由新特能源股份有限公司负责修订《节水型企业 多晶硅行业》，计划编号20171757-T-469，计划完成时间为2019年。

3、编制单位简况

新特能源股份有限公司，成立于2008年，主要推崇绿色制造、循环经济发展模式，在致力太阳能光伏产业链建设的基础上，从循环经济的减量化、再利用和循环使用原则出发，采用全闭环的多晶硅生产工艺。建立纳米材料分公司、新能建材有限公司，利用多晶硅生产中副产物四氯化硅生产气相二氧化硅，利用发电过程产生的煤渣、粉煤灰等生产加气块，变废为宝。被评为国家“优秀循环经济企业”。生产、研发、销售高纯多晶硅、多晶硅/单晶硅硅片、高纯四氯化硅、气相二氧化硅等产品，并提供硅产业技术服务，主导产品为多晶硅，目前，多晶硅生产规模达到15000吨/年，居世界前八位，中国前三位。

新特能源股份有限公司坚持机制创新、体制创新、科技创新、管理创新、文化创新的创新求变理念，2012年经新特能源股份有限公司高层领导研究决定在新特能源股份有限公司质检中心的基础上组建了新疆新特新能材料检测中心有限公司，本公司于2013年和2014年两年间相继取得CMA和CNAS资质，本公司实验室有效建筑面积6540m2，其中十万级恒温空间占地6340 m2，千级高洁净间占地756 m2；实验室仪器配置涵盖了气相、液相色谱，光谱、质谱等常规及高尖端分析检测仪器,超洁净的环境、高尖端的设备为无机痕量级分析奠定了基础，这些设备为后续的多晶硅实验检测提供了良好的硬件设施及条件。

4、主要工作过程

接到标准制定任务后，新特能源股份有限公司在全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会的组织下，成立了标准编制组。标准编制组充分调研了多晶硅行业各生产单位的取水量、水资源消耗及水循环利用率等技术水平，2017年2月制定了《节水型企业 多晶硅行业》的国家标准草案，并发行业内各专家广泛征求意见。并于2017年6月形成了讨论稿。

2017年10月26日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在广东省东莞市召开《节水型企业 多晶硅行业》（国家标准）任务落实工作会议，共有洛阳中硅高科技有限公司、有研半导体材料有限公司、江苏中能、神舟硅业、亚洲硅业、黄河水电、内蒙古盾安等10个单位20位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论。专家对本标准制定提出了几点意见：

1.与会专家指出针对本标准的技术要求考核指标只从两个方法进行考虑，一个是三氯氢硅法，一个是硅烷法。

2.在考核指标的制定上应该考虑两个方面：一个所定指标不能和《国家光伏行业生产

规范》中针对企业准入要求水循环利用率的指标相互冲突；二是考虑企业节水相关的3个问题，第一：企业所处地理位置，南北方的因为气候有所差别水蒸发量也会不同；第二：工艺冷却设备的使用；第三：工艺方法的不同。

3.在会议之后由半导体标委会统一发出调查问卷，所有多晶硅生产企业均需根据自身生产实际情况进行指标的填写，完成后统一加盖公章提交之标委会。再由标委会统一将企业名称用ABC字母替代后反馈至起草单位。

根据与会专家意见，《节水型企业 多晶硅行业》标准编制组，会后3个月内应修改完成征求意见稿及编制说明，发相关的企事业单位广泛征求意见，包括对各企业多晶硅产能、平均最高温度、平均最低温度、单位新鲜水单耗、废水回收率、蒸汽冷凝液回收率、脱盐水制取系数、超纯水制取系统、水重复利用率、用水综合损失率、单位排水单耗等技术参数，根据调研结果进行了标准技术内容修订，根据征求意见情况填写意见汇总处理表，并于2018年9月修改完成预审稿及编制说明。

二、本标准编制的原则和主要内容 1.标准编制原则

1.1.本标准的编写格式按国家标准GB/T1.1-2009《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》的统一规定和要求进行编写的。

1.2.本标准在编制过程中，结合目前国内多晶硅企业的实际水耗及水资源综合利用等参数要求，并综合考虑了行业的实际需求与未来一段时间内的技术发展要求。2.本标准的主要内容及确定依据

目前国内的多晶硅工艺都采用改良西门子法，改良西门子法生产工艺的优点是成本低、节能降耗、生产出的多晶硅产品质量高、综合利用技术较高，而且最主要的是整个生产环节对环境无污染，这在市场中具有很大的竞争优势。

以上为改良西门子法生产工艺流程，用水环节主要是生产用循环水、脱盐水、超纯水、废气残液淋洗用水等，其中大部分水回用至系统。改良西门子法取用水的方式：主要用于废气残液系统新鲜水喷淋和稀释碱液使用，同时用新鲜水制备多晶硅生产过程中需要的脱盐水及超纯水。

本标准制定的主要工作就是对多晶硅行业所有生产和在建企业进行数据调研，结合各单位实际情况进行参数确定，贯彻科学发展观，促进节水型社会建设。结合各公司目前生产现状，体现标准的科学性、先进性、合理性及经济适用性。具体调研数据如下：

水系统数据调研统计表调研数据（以2017年数据）序号1234567891011项目名称多晶硅平均最高温度平均最低温度单位新鲜水单耗废水回收率蒸汽冷凝液回收率脱盐水制取系数超纯水制取系统水重复利用率用水综合损失率单位排水单耗单位1吨℃℃t/t%%————%%t/t20199.7742.2-36.8137.11————————————51.928100.9542-5181.0813.26%57%2.2——99.18%7%66.663507621.9-13.121639%90%0.75——5.45%1%26.7543000041.5-3711525%76.71%1.651.7499.15%7%305——————115————————————356650016.43.820020%90%608370%7%507827734.3-11105.0640%81%2.12——99.40%6.69%55.28***.850%100%1.6——97%2%48.339235230-2025426%70%1.10.3564%2%——12339.5931.91-14.89165.6730%81%1.891.7498.68%6.92%45.48——————150.0030%90%两级反渗透：2.0一级反渗透+EDI:1.65两级反渗透：2.2一级反渗透+EDI:1.8099.00%7.00%45.00平均值建议值备注调研企业1提供数据单位新鲜水单耗和单位排水单耗采纳其提供数据。调研企业2提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、脱盐水制取系数、水重复利用率、用水综合损失率、单位排水单耗采纳以上数据。调研企业3提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、单位排水单耗采纳以上数据。脱盐水制取系数、水重复利用率、用水综合损失率三个数据不采纳，其中脱盐水制取系数0.75，与脱盐水制取系数计算公式不符而不采纳；水重复利用率数据异常而不采纳；用水综合损失率1%，数据异常，低于系统损失量而不采纳。调研企业4提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、脱盐水制取系数、超纯水制取系数、水重复利用率、用水综合损失率、单位排水单耗采纳以上数据。调研企业5提供数据单位新鲜水单耗和单位排水单耗采纳其提供数据。调研企业6提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、用水综合损失率、单位排水单耗采纳以上数据。脱盐水制取系数、超纯水制取系数、水重复利用率三个数据不采纳，其中脱盐水制取系数60，与脱盐水制取系数计算公式不符而不采纳；超纯水制取系数83，与超纯水制取系数计算公式不符而不采纳；水重复利用率数据异常而不采纳。调研企业7提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、脱盐水制取系数、超纯水制取系数、水重复利用率、用水综合损失率、单位排水单耗采纳以上数据。调研企业8提供单位新鲜水单耗、废水回用率、蒸汽冷凝液回收率、脱盐水制取系数、超纯水制取系数、水重复利用率、单位排水单耗采纳以上数据。用水综合损失率为2%，数据异常，低于系统损失量而不采纳。4

三、标准水平分析

本标准为多晶硅各生产企业水消耗做出了限定，是响应国家环保能源节约的发展要求。本标准总体水平为国内先进水平。

四、与现行相关法律、法规、规章及相关标准，特别是强制性标准的协调性

本标准属于硅单晶的分析方法标准，没有现行的法律、法规、规章制度等对其要求，本领域没有强制性标准，本标准与现行法律、法规和相关标准相协调、无冲突。

五、专利及涉及知识产权

本文件起草过程中没有检索到专利和知识产权问题，如果涉及到专利和知识产权时请使用单位与专利和知识产权方协商，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

六、分歧意见的处理经过

编制组根据起草前确定的编制原则进行了标准起草，标准起草小组前期进行了充分的准备和调研，并做了大量调查论证、信息分析和实验工作，在标准在主要技术内容上，行业内取得了较为一致的意见，标准起草过程中未发生重大分歧意见。

七、标准作为强制性或推荐性国家（或行业）标准的建议

本标准为多晶硅企业用水限定标准，适用于多晶硅生产企业建议为推荐性标准。

八、废止现行有关标准的建议 无

九、推广应用的预期效果

本标准的发布和实施能有效的规范我国硅材料生产中用水量，促使多晶硅生产企业优化工艺，节约用水，提高水资源的循环利用率，能推动多晶硅行业的技术进步，具有良好的经济和社会效益。

新特能源股份有限公司

多晶硅生产中 篇5

中华人民共和国商务部对原产于欧盟的进口 太阳能级多晶硅反补贴调查的初步裁定

根据《中华人民共和国反补贴条例》（以下简称《反补贴条例》）的规定，2012年11月1日，商务部发布年度第70号公告，决定对原产于欧盟的进口太阳能级多晶硅反补贴立案调查。该产品归在《中华人民共和国进出口税则》：28046190。该税则号项下用于生产集成电路、分立器件等半导体产品的电子级多晶硅不在本次调查产品范围之内。

商务部（以下称调查机关）对原产于欧盟的进口太阳能级多晶硅（以下称被调查产品）是否存在补贴及补贴金额、被调查产品是否对国内太阳能级多晶硅产业造成损害和损害程度以及补贴与损害之间的因果关系进行了调查。根据调查结果和《反补贴条例》第二十五条的规定，调查机关作出初步裁定如下：

一、立案前磋商

2012年9月17日，调查机关收到江苏中能硅业科技发展有限公司、江西赛维LDK光伏硅科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司和重庆大全新能源有限公司（以下简称申请人）代表国内多晶硅产业提交的反补贴调查申请，请求对原产于欧盟的进口被调查产品进行反补贴调查。收到申请材料

后，根据《反补贴条例》第十六条的规定，2012年10月15日，调查机关就有关反补贴调查事项向欧盟委员会发出进行磋商的邀请，并向欧洲联盟驻华代表团转交了申请书的公开版本。中欧双方代表于2012年10月26日进行了磋商。

二、调查程序

（一）立案及立案通知。1．立案。

调查机关经审查申请人提交的申请材料，认为申请人符合《反补贴条例》第十一条、第十三条和第十七条有关国内产业提出反补贴调查申请的规定。同时，申请书中包含了《反补贴条例》第十四条、第十五条规定的反补贴调查立案所要求的内容及有关证据。

在完成申请材料的审查及磋商后，根据《反补贴条例》第十六条的规定，2012年11月1日，调查机关发布商务部年度第70号公告，决定对原产于欧盟的进口被调查产品进行反补贴立案调查。

调查机关确定的补贴调查期为2011年7月1日至2012年6月30日，产业损害调查期为2008年1月1日至2012年6月30日。

2．立案通知。

2012年11月1日，调查机关发布商务部年度第70号公告，并向欧洲联盟驻华代表团正式提供了该立案公告和申请

书的公开文本。同日，调查机关将本案立案情况通知了申请人及申请书中列明的欧盟生产商、出口商。

3．立案后评论意见。

调查机关发布商务部2012年第70号公告后，瓦克化学股份有限公司提出1：申请人在两份立案申请书中关于欧盟进口产品是否造成损害的说法前后矛盾，调查机关不应接受其立案请求，也不应以2008年作为调查期的起点。

调查机关注意到了瓦克化学股份有限公司的主张。调查机关认为，在收到申请人提交的立案申请书后，调查机关依据《反补贴条例》审查了申请人提交的申请书及所附证据，认为其可以代表国内产业，提供的产业损害有关证据材料符合立案的要求，调查机关据此作出了立案决定，并根据国内产业的实际情况确定了产业损害调查期的起点。

（二）补贴及补贴金额的初步调查。

1.登记应诉。

根据公告要求，自商务部2012年第70号公告发布之日起20天的登记应诉期内，欧洲联盟驻华代表团、被调查产品生产商/贸易商/下游用户欧盟瓦克化学股份有限公司（Wacker Chemie AG）、PV Crystalox Solar Silicon GmbH、无锡尚德太阳能电力有限公司等公司向调查机关登记补贴应诉。

2.发放问卷和收取答卷。

详见《关于对欧盟太阳能级多晶硅反倾销反补贴立案的初步评论意见》第7-9页

2012年11月30日，调查机关向登记应诉的欧洲联盟驻华代表团发放了反补贴调查政府问卷，向登记应诉的欧盟生产商和出口商发放了反补贴调查企业问卷。另外，调查机关还向申请书中列明的其他生产商和出口商发放了反补贴调查企业问卷，并将调查问卷登载在商务部网站上，任何利害关系方可在商务部网站上查阅并下载本案调查问卷。

调查机关要求欧盟政府和涉案公司在37天内按规定提交准确、完整的答卷。在该期间内，欧盟政府以及有关瓦克化学股份有限公司向调查机关申请延期递交答卷并陈述了相关理由。经审查，调查机关同意给予欧盟政府以及申请公司适当延期。至答卷递交截止之日，调查机关收到了欧盟政府、欧盟瓦克化学股份有限公司递交的有关补贴部分问卷的答卷。

调查机关针对欧盟政府和瓦克化学股份有限公司提交的补贴部分答卷中存在的问题，向欧盟政府和瓦克化学股份有限公司发放了反补贴调查补充问卷。欧盟政府和瓦克化学股份有限公司向调查机关申请延期递交答卷并陈述了相关理由。经审查，调查机关同意给予欧盟政府和瓦克化学股份有限公司适当延期。在规定的时间内，调查机关收到了反补贴调查补充问卷的答卷。

3.有关利害关系方发表的意见。

调查期间，有关利害关系方拜会调查机关或以书面文件

方式对本案调查中的有关问题发表了意见。

（1）2012年12月7日，晶龙实业集团有限公司向调查机关提交《晶龙实业集团有限公司关于放缓对欧美多晶硅“双反”的诉求函》，建议调查机关控制多晶硅“双反”调查案调查节奏，放缓步伐（见商务部公开信息查阅室）。

（2）2013年1月15日，中国机电产品进出口商会致函调查机关对本案表示关注（见商务部公开信息查阅室）。

（3）2013年11月14日，申请人提交了《关于请求加快对欧盟多晶硅“双反”初裁的情况汇报》。

（4）2013年11月20日，瓦克化学股份有限公司提交了《对申请人<关于请求加快对欧盟多晶硅“双反”初裁的情况汇报>的评论意见》。

（三）产业损害及损害程度的初步调查。

1．产业损害调查期。

商务部在立案公告中明确，本案产业损害调查期（以下称调查期）为2008年1月1日至2012年6月30日。

2．参加产业损害调查活动登记。

根据《反补贴产业损害调查规定》第十九条、第二十一条的规定，2012年11月1日，调查机关发出了《关于参加太阳能级多晶硅产品反补贴案产业损害调查活动登记的通知》(商调查（三处）函[2012]437号)。2012年11月21日，参加调查活动登记期截止，共计4家利害关系方向调查机关

提交反补贴调查活动登记申请，分别为：国外生产者/出口商1家：瓦克化学股份有限公司，国内进口商3家：无锡尚德太阳能电力有限公司、保定天威英利新能源有限公司、英利能源（中国）有限公司。

经审查，调查机关接受了上述利害关系方的应诉登记申请。

3．成立产业损害调查组。

2012年11月7日，调查机关发出《关于成立太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案产业损害调查组的通知》（商调查（三处）函[2012]456号），成立了太阳能级多晶硅反补贴案产业损害调查组，负责本案的产业损害调查工作。

4．发放和收回调查问卷。

根据《反补贴条例》第二十条和《反补贴产业损害调查规定》第二十四条、第二十五条的规定，2012年11月21日，调查机关向本案利害关系方发放了《太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案产业损害调查问卷（国内生产者调查问卷）》（商调查（三处）函[2012]492号）（以下称《国内生产者调查问卷》）、《太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案产业损害调查问卷（国外<地区>生产者/出口商调查问卷）》（商调查（三处）函[2012]493号）（以下称《国外<地区>生产者/出口商调查问卷》）和《太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案产业损害调查问卷（国内进口商调查问卷）》（商调查（三处）

函[2012]494号）（以下称《国内进口商调查问卷》）。

2012年12月14日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了延期递交答卷的申请，2012年12月28日，英利能源(中国)有限公司和保定天威英利新能源有限公司向调查机关提交了延期递交答卷的申请，经研究，调查机关批准了上述延期申请。

在规定的答卷期限或经批准延期递交答卷的期限内，调查机关共收到4份《国内生产者调查问卷答卷》2，1份《国外<地区>生产者/出口商调查问卷答卷》，9份《国内进口商调查问卷答卷》。分别为，国内生产者4家：江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江西赛维LDK光伏硅科技有限公司、大全新能源有限公司；国外生产者/出口商1家：瓦克化学股份有限公司；国内进口商9家：英利能源(中国)有限公司、保定天威英利新能源有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司、上海九晶电子材料公司、上海市卡姆丹克太阳能科技有限公司、常州亿晶光电科技有限公司、江西旭阳雷迪高科技股份有限公司、晶澳太阳能控股有限公司、海润光伏科技股份有限公司。

5．听取利害关系方意见陈述。

根据《反补贴条例》第二十条的规定，2012年11月13日，调查机关收到申请人提交的《关于召开欧盟太阳能级多 2根据申请人主张，由于本案国内产业主体与对美的太阳能级多晶硅反补贴案一致，故本案答卷以9月17日申请人提交的《国内生产者调查问卷答卷》为准。

晶硅反倾销、反补贴案申请人意见陈述会的申请》。调查机关于2012年11月14日发出《关于召开原产于欧盟的太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案申请人意见陈述会的通知》（商调查（三处）函[2012]482号）。2012年11月22日，调查机关召开对欧盟的太阳能级多晶硅反补贴案申请人意见陈述会，听取了申请人陈述提起申请的主要理由及对本案产业损害调查的相关问题的陈述，收到了本案申请人提交的陈述材料。

2013年1月11日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提出了拜访请求。根据《反补贴条例》第二十条的规定，调查机关于2013年2月6日接待上述利害关系方，听取其意见陈述，收到了其提交的《对于当前中国对欧盟多晶硅反倾销和反补贴案的意见陈述文件》。

6．接收利害关系方书面意见。

2012年11月21日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了《关于对欧盟太阳能级多晶硅反倾销反补贴立案的初步评论意见》。

2013年2月1日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了《对欧盟多晶硅反倾销反补贴案产业损害初步抗辩意见》。

2013年2月22日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了《太阳能级多晶硅产品反倾销案产业损害调查进一步

抗辩意见》。

7．初裁前实地核查。

根据《反补贴条例》第二十条和《反补贴产业损害调查规定》第二十七条的规定，2012年11月5日，调查机关发出了《关于太阳能级多晶硅反倾销和反补贴案初裁前实地核查的通知》（商调查函[2012]453号）。2013年1月，调查机关先后对国内生产者洛阳中硅高科技有限公司和大全新能源有限公司进行了初裁前实地核查。实地核查期间，调查机关对申请人提交的申请书及调查问卷答卷中的信息和企业生产经营状况进行了核查。核查结束后，申请人向调查机关提交了核查后补充材料。

8．信息公开。

根据《产业损害调查信息查阅与信息披露规定》第八条、第十四条的规定，本案公开材料均已送交商务部贸易救济公开信息查阅室。各利害关系方可以查找、阅览、摘抄、复印公开信息。

调查机关对申请书及所附证据材料、收回的调查问卷答卷和实地核查结果进行认真分析和全面评估，对本案利害关系方提交的意见依法予以考虑。

（四）延期公告。

2013年10月31日，根据《反补贴条例》第二十七条的规定，调查机关发布公告，决定将本案的调查期限延长六个

月，即截止日期为2014年5月1日。

三、被调查产品

本案被调查产品范围及产品描述如下：

调查范围：原产于欧盟的进口太阳能级多晶硅。被调查产品名称：太阳能级多晶硅。英文名称：Solar-Grade Polysilicon。

被调查产品的具体描述：以氯硅烷为原料采用（改良）西门子法和硅烷法等工艺生产的，用于生产晶体硅光伏电池的棒状多晶硅、块状多晶硅、颗粒状多晶硅产品。

被调查产品电学参数为：基磷电阻率<300欧姆∙厘米（Ω ∙ cm）；基硼电阻率<2600欧姆∙厘米（Ω ∙ cm）；碳浓度>1.0×1016（at/cm3）；n型少数载流子寿命<500μs；施主杂质浓度>0.3×10-9;受主杂质浓度>0.083×10-9。

主要用途：主要用于太阳能级单晶硅棒和定向凝固多晶硅锭的生产，是生产晶体硅光伏电池的主要原料。

该产品归在《中华人民共和国进出口税则》：28046190。该税则号项下用于生产集成电路、分立器件等半导体产品的电子级多晶硅不在本次调查产品范围之内。

四、国内同类产品和国内产业

（一）国内同类产品的认定。

根据《反补贴条例》第十二条和《反补贴产业损害调查规定》第十条、十一条关于同类产品认定的规定，调查机关

对国内生产的太阳能级多晶硅与被调查产品的物理特征、化学性能、制造工艺、生产设备和原料、用途、销售渠道、客户及群体评价和产品可替代性、价格等因素进行了考察，初步调查证据显示：

1.物理特征和化学性能。调查机关在实地核查中收集了国内生产的太阳能级多晶硅质量检验相关证据，并将其与利害关系方提交的《国外<地区>生产者/出口商调查问卷》中对被调查产品的描述进行了比较，结果显示，国内生产的太阳能级多晶硅与被调查产品外观基本一样，均为银灰色棒状、块状或颗粒状的固体，不溶于水，无气味，熔点为1410℃，分子量为28。其基磷电阻率、基硼电阻率、碳浓度、n型少数载流子寿命等电学参数与被调查产品相同，因此，调查机关认定，国内生产的太阳能级多晶硅与被调查产品的物理特征和化学性能基本相同。

2.制造工艺、生产设备和原料。《国内生产者调查问卷答卷》和《国外<地区>生产者/出口商调查问卷答卷》中的相关陈述以及实地核查中收集的证据表明，被调查产品与国内生产的太阳能级多晶硅的生产工艺基本一致，均以西门子法、硅烷法为主，主要由氢化、合成、提纯、还原等步骤组成。生产设备基本相同，均由氢化器、提纯炉、还原器等主要设备构成。生产原料均为硅粉或氯硅烷、氢气、液氯等。

3.用途。调查机关认定，被调查产品与国内生产的太阳

能级多晶硅产品的用途相同，均用来制造太阳能级单晶硅棒或定向凝固多晶硅锭。

4.销售渠道。调查机关经比较《国内生产者调查问卷答卷》和《国外<地区>生产者/出口商调查问卷答卷》中的相关陈述和实地核查中收集的客户清单后认定，国内生产的太阳能级多晶硅产品与被调查产品销售渠道均以直接销售给终端用户为主。

5.客户及群体评价和可替代性。调查机关根据实地核查中收集到的客户满意度证明和客户清单等证据和《国内进口商调查问卷答卷》中提供的客户信息，认定国内生产的太阳能级多晶硅产品与被调查产品的客户群体有重合，部分下游用户同时使用国内生产的太阳能级多晶硅产品和被调查产品，二者间存在替代关系。

瓦克化学股份有限公司提出3：，国内同类产品与进口被调查产品在产品品质和质量稳定性方面存在较大差距，与进口被调查产品相比，中国国内企业生产和销售的多晶硅产品的纯度较差，且质量不均匀。

对此，调查机关对实地核查中收集到的申请人内部质检报告和信息产业专用材料质量监督检验中心等第三方出具的检验报告等证据进行了分析，调查显示，申请人生产的太阳能级多晶硅产品质量符合国家标准GB/T25074-2010的要 3详见《太阳能级多晶硅产品反倾销和反补贴案调查无损害抗辩》第12页

求，其中绝大多数产品达到或超过了国家标准GB/T25074-2010中一级品或二级品的要求，一部分产品甚至达到了电子级多晶硅产品的质量标准。调查机关将国家标准GB/T25074-2010与国际通行的标准SEMI进行了比较，国家标准与国际标准SEMI基本一致，部分指标甚至严于SEMI。故瓦克化学股份有限公司的主张不符合实际情况。

6.价格。调查机关通过实地核查中获得的证据与中国海关统计数据后认定，调查期内，国内产品价格总体变化趋势与被调查产品进口价格变化趋势基本一致。

调查机关通过分析后认为，国内产业产品与被调查产品的物理特征和化学性能、制造工艺、生产设备和原料、用途、销售渠道、客户及群体评价基本相同，具有相似性和可比性，可以相互替代，价格总体变化趋势基本一致。因此，调查机关初步认定，国内生产的太阳能级多晶硅与被调查产品属于同类产品。

（二）国内产业的认定。

根据《反补贴条例》第十一条和《反补贴产业损害调查规定》第十三条规定，调查机关对本案国内产业进行了审查和认定。本案立案公告告知各利害关系方可向调查机关登记参加产业损害调查活动，并告知《参加太阳能级多晶硅产品反补贴案产业损害调查活动申请表》与产业损害调查问卷可在“中国贸易救济信息网”下载，调查机关还向已知利害关

系方寄出了产业损害调查问卷。本案调查中，除申请人外，没有其他国内生产者参加产业损害调查活动并提交《国内生产者调查问卷答卷》。证据显示，本案调查期内，提交《国内生产者调查问卷答卷》企业生产的国内同类产品占国内同类产品总产量的比例分别为2008年63.26%、2009年54.87%、2010年65.97%、2011年61.86%、2012年1-6月78.62%，符合《反补贴条例》第十一条和《反补贴产业损害调查规定》第十三条关于国内产业认定的规定。因此，调查机关认定，提交《国内生产者调查问卷答卷》的国内生产者江苏中能硅业科技发展有限公司、江西赛维LDK光伏硅科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司和大全新能源有限公司构成本案调查的国内产业。本裁决所依据的国内产业数据，除特别说明外，均来自以上特定的国内生产者。

五、追溯征税调查

应国内产业申请，根据《反补贴条例》第四十五条的规定，2012年11月26日，商务部发布第84号公告，决定对原产于欧盟的进口太阳能级多晶硅进行追溯征税调查。

（一）启动追溯征税调查。

2012年11月8日，申请人向调查机关提交了《对原产于欧盟的太阳能级多晶硅追溯征收反补贴税的申请》。调查机关对上述追溯征税的申请依法进行了审查，根据《反补贴条例》第四十五条的规定，决定自2012年11月26日开始对是否对原产于欧盟的进口太阳能级多晶硅追溯征收反补

贴税进行调查，要求国外生产商或出口商以及国内进口商向调查机关提交按月统计的太阳能级多晶硅产品追溯征税调查信息表。

（二）回收太阳能级多晶硅产品追溯征税调查信息表。在规定的时间内，西安隆基硅材料股份有限公司、南通综艺新材料有限公司、晶澳太阳能控股有限公司、江西旭阳雷迪高科技股份有限公司、保定天威英利新能源有限公司、英利能源（中国）有限公司、无锡尚德太阳能电力有限公司、西安华晶电子技术股份有限公司、上海九晶电子材料股份有限公司等国内进口商向调查机关提交了2012年1-11月太阳能级多晶硅产品追溯征税调查信息表；欧盟瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了2012年5-11月追溯征税调查信息表。

2012年12月至2013年11月，上述公司按规定每月向调查机关提交了太阳能级多晶硅产品追溯征税调查信息表。

（三）接收利害关系方的评论意见。

2013年1月，无锡尚德太阳能电力有限公司作为太阳能级多晶硅下游用户向调查机关提交《关于不对原产于美国、韩国和欧盟进口多晶硅追溯征收反倾销及反补贴税的请求》，对追溯征税提出强烈反对，请求调查机关不对原产于美国和欧盟的进口多晶硅追溯征收反补贴税。

2013年2月22日，瓦克化学股份有限公司向调查机关

提交了《关于对原产于美国、韩国、欧盟的进口太阳能级多晶硅进行追溯征税调查的评论意见》，表示本案不满足追溯征税的法定条件。

2013年2月27日，申请人向调查机关提交了《太阳能级多晶硅反倾销、反补贴案——请求对被调查产品进口可能存在的规避追溯征税情况进行调查的申请》。

2013年4月16日，瓦克化学股份有限公司向调查机关提交了《关于瓦克化学近期出口情况的说明》，对所提交的追溯征税数据进行进一步说明。

是否存在追溯征税的法定条件、是否最终追溯征税以及如何追溯征税，调查机关将根据调查情况在反补贴调查终裁裁决中予以公布。

六、补贴和补贴金额

调查机关以10年作为太阳能级多晶硅行业一次性补贴利益的调查和分摊期，即对补贴调查期内及以前9年中可能给企业带来利益的财政资助以及任何形式的收入或价格支持展开调查。

调查机关规定，应诉公司和其符合条件的关联公司均应回答问卷。欧盟瓦克化学股份有限公司提交了反补贴调查企业答卷。欧盟政府单独提交了反补贴调查政府答卷。在调查中，调查机关依据获得补贴利益的产品范围分摊补贴项目的利益。

调查机关审查了申请人的主张和证据材料、欧盟政府（以下均包括欧盟政府、欧盟成员国政府以及成员国地方政府）和瓦克化学股份有限公司的答卷，对各补贴项目作如下认定：

（一）德国---“改善区域经济结构共同任务”投资赠款 申请人主张，根据2007年4月修订的《改善区域经济结构共同任务法》，德国联邦政府和州政府以现金的形式向特定“激励地区”内的投资提供无需偿还的赠款（non-repayable cash grant）。德国政府通过制定不同时期的“共同任务”框架（“GA框架”）调整该项目的具体实施政策。该项目的资金预算由德国联邦政府和各州政府各出资25%，欧盟出资50%构成。

申请人主张，只有在特定“激励地区”内投资的企业才有资格获得此项目下的赠款；同时投资项目还必须创造长期（至少持续5年）就业岗位，投资者在项目开始前必须正式提出申请并获得相关政府机构的批准。即使投资项目符合所有条件，获得赠款仍非投资者的法定权利。

申请人主张，德国瓦克化学股份有限公司获得了如下“共同任务”投资赠款：2010年，位于宁希里茨的太阳能级多晶硅工厂获得了150万欧元“共同任务”赠款；2008年，位于耶拿的合资硅片工厂获得了4691万欧元投资补贴；2005年，位于宁希里茨的有机硅/硅烷工厂获得1313万欧元投资

补贴；2004年，位于弗莱贝格的300毫米硅片工厂获得了1.2亿欧元投资补贴；2001年，位于宁希里茨的有机硅工厂获得了6500万欧元“共同任务”赠款。

申请人同时主张，上述赠款构成了《中华人民共和国反补贴条例》第三条下的财政资助，即“出口国（地区）政府以拨款、贷款、资金注入等形式直接提供资金”；同时，德国联邦政府和各州政府直接以现金形式提供投资赠款，使获得赠款的被调查产品生产者节省了同样金额的投资支出，构成了《反补贴条例》第三条下的“为接受者带来利益”；并且德国《改善地区经济结构—共同任务法》明确规定，只有在特定“激励地区”此项目具有《反补贴条例》第四条下规定的专向性，属于“由出口国（地区）法律、法规明确规定的某些企业、产业获得的补贴”。

1、财政资助的认定

根据欧盟政府答卷，德国联邦-各州-共同任务“改善地区经济结构”(GRW)于1969年年10月6日制定,并于1970年1月1日生效。1972年第一批投资项目得到了GRW的资助。该法律协调框架第II部分规定了“改善区域经济结构共同任务”项目的资助前提，方式和强度。

关于可以采取的措施，该法律规定：为了改善地区性经济结构，将采取以下措施:（1）对中小型工商企业的创立,扩大,转型或彻底优化进行投资性扶助；（2）对与发展地区性经

济密切相关的基础设施进行投资性扶助，这些基础设施是发展地区性经济所直接需要的；（3）采取非投资性和其他措施提高企业的竞争力。对结构问题给予地区政治上的协助,支持与发展地区经济密切相关的地区性活动；（4）对措施评估和相伴的地区政治研究。

关于财政资助的方式，该法律规定的扶助的方式可以是补贴，贷款和担保的方式出现。

关于出资和执行，该法律规定：融资方面由联邦和各州各出一半。而实施资助措施是各州的任务，各州负责选择值得资助的项目，负责发放许可证，并监督补贴接收方对资助规定的遵守情况。各州可根据地方上具体问题的形式和程度来设定资助重点。

根据瓦克化学股份有限公司的答卷，就瓦克公司而言，本项目的目的是在萨克森州（State of Saxony）吸引投资和创造就业，根据欧盟的国家及地区基金指南，萨克森州被界定为不发达地区。主管该项目的机构是萨克森州州政府，由萨克森商务部（“SMWA”）代表。具体执行该项目的是萨克森开发银行（“SAB”）。该项目由向在萨克森州投资生产资产和创造就业的公司直接提供资金构成。该项目的依据是萨克森州指南（“GRW”）。该指南在欧盟的国家及地区资金指南框架内运行。本项目下的资金来自于国家资金项目。在国家资金支付前，具体投资项目需要向欧盟通报并获得批准。

根据欧盟政府和瓦克化学股份有公司的答卷都可以看出，德国政府根据此项目向瓦克化学股份有限公司提供过投资赠款。

根据《反补贴条例》第三条的规定，出口国（地区）政府以拨款、贷款的形式直接提供资金应当为财政资助。调查机关经初步调查认定，在该项目下，德国政府（包括萨克森州政府）向瓦克化学股份有限公司提供投资赠款，符合上述规定，构成了财政资助。

2、专向性的认定

根据欧盟政府答卷，改善地区经济结构资金只能用于协调框架中列明的扶持地区的企业。扶持地区分类如下：根据《欧共体条约》第87条第3款a)项规定（A类扶持地区）批准的发展明显滞后的地区；根据《欧共体条约》第87条第3款c)项规定（C类扶持地区）批准的结构问题严重的地区；根据法规可以因结构问题严重而接受GRW资金的地区（D类扶持地区）。

根据《反补贴条例》第四条的规定，指定特定区域内的企业、产业获得的补贴，具有专向性。调查机关经调查后初步认定，改善地区经济结构项目通过立法的方式给予特定区域内的企业投资赠款，符合《反补贴条例》第四条规定，具有专向性。

3、补贴利益的确定

德国瓦克化学股份有限公司在答卷中称，公司集团中个别公司曾获得过该项目下的投资赠款，并对获得赠款的情况进行了说明。经补充问卷询问，该公司又提供了调查期及之前9年该公司及其关联公司获得该项目下投资赠款的一些具体项目，并进行了相关说明。

调查机关在调查中发现，该公司2009年、2010年、2011年和2012年的合并财务报表附注04“固定资产开发”中，均有一项是“因投资补贴产生造成的成本降低”。在相关定义中，对于此项的解释是“购臵和生产成本因第三方资助减少。除非另行说明，否则该等资助(投资补贴)均是由政府机构提供的。未被未来费用抵消的资助收入被确认为收入。”对此项目，调查发放补充问卷要求公司详细说明此项金额包括的具体内容，包括这些投资补贴包括哪些具体项目?每一项目是由哪个政府部门给予的?每一项的具体金额是多少?给予每一项补贴的条件是什么?每一项补贴是与哪些产品或者哪些活动相关?。

该公司在补充问卷的回答中称，公司无法根据项目提供分解数据，只能根据公司提供分解数据，同时公司称，除了在欧盟之外获得的拨款，这里的全部投资拨款都是来自于补贴问卷中报告的“共同任务”拨款和“投资津贴”拨款。调查机关对这部分数据进行了审查，虽然公司称这里的数字包含了欧盟之外的投资拨款情况，但是在公司提供的按公司分解数

据时，并没有提供欧盟外的投资拨款情况。

在给欧盟政府的原始问卷和补充问卷中，调查机关要求欧盟政府提供在调查期内和之前9年中，欧盟内申请“改善区域经济结构共同任务”投资赠款项目的所有公司清单、已经有权获得或者已经实际获得该项目利益的所有公司的名单以及实际获得的利益额。欧盟政府在原始答卷和补充问卷的答卷中均没有提供上述信息。

虽然瓦克化学股份有限公司报告了个别“共同任务”拨款的项目，但由于瓦克化学股份有限公司称其财务报表中“因投资补贴产生造成的成本降低”的补贴均来自“共同任务”拨款和“投资津贴”拨款，且并未提供按项目分解的数据，因此，调查机关无法确认其报告的个别“共同任务”拨款公司是否获得了利益，以及获得了多少利益。同时，欧盟政府答卷中也没有提供“共同任务”下详细的获得拨款的公司名单，调查机关无法与公司报告的数据进行核对。

根据《反补贴条例》第六条的规定，以拨款形式提供的补贴，补贴金额以企业实际接收的金额计算。因此在初裁中，调查机关暂以公司财务报表中“因投资补贴产生造成的成本降低”的补贴数额为瓦克集团获得的补贴利益额（包括“共同任务”和“投资津贴”两个补贴项目），并将该数额按照瓦克集团公司的销售额比例分摊至全部销售的产品。

由于公司对于财务报表中的“因投资补贴产生造成的成 本降低”项没有提供欧盟外的投资拨款情况，调查机关在初裁阶段暂依据公司报告的欧盟内按公司分解的数据的总和认定瓦克集团获得的补贴。

虽然瓦克集团公司包括瓦克化学股份有限公司以及其他关联公司，调查机关认为，关联公司获得的补贴使得整个集团受益，在初裁阶段，调查机关将整个集团获得的补贴分摊至整个集团销售的所有产品，以此比例确定瓦克化学股份有限公司获得的补贴额。

由于该公司2009年至2012年财务报表中均有该项目，且其数额占公司总销售额的比例比较接近，说明该公司近几年中均获得了类似数额的补贴，据此，在初裁中，调查机关暂认定将该项目为可重复项目，按照调查期的数据计算出补贴额作为该公司在该项目下获得的补贴额，不再按照 10年的期限进行分摊。

公司报告的季度财务报告中没有上述“因投资补贴产生造成的成本降低”的数据，调查机关暂依据2011年和2012年的数据计算出的比例的平均值作为调查期的补贴额占销售额比例。

（二）德国—东部地区“投资津贴”项目

申请人主张，根据德国《2010投资津贴法》及其前身，该项目是一项专门用于促进德国东部经济发展的投资资助计划，只有在柏林市（直辖州）、勃兰登堡、梅克伦堡-前波

美拉尼亚、萨克森、萨克森-安哈特和图林根等联邦州中的投资项目才能够获得补贴。

申请人主张，“投资津贴”可以现金支付，如果投资者有盈利也可以抵税的方式实现。投资津贴是免征税的。投资津贴可用于“新投资项目”中的可折旧固定资产的购臵或建造。

申请人主张，2001年以来，瓦克化学股份有限公司（及其前身）通过获得了多笔补贴，包括：2010年位于宁希里茨的太阳能级多晶硅工厂获得的9600万欧元的“投资津贴”；2008年位于耶拿的合资硅片工厂获得的4691万欧元投资补贴；2005年位于宁希里茨的有机硅/硅烷工厂获得的1313万欧元投资补贴；2004年位于弗莱贝格的300毫米硅片工厂获得的1.2亿欧元投资补贴；2001年位于宁希里茨的有机硅工厂获得的5400万欧元“投资津贴”。

申请人同时主张，德国政府直接向被调查产品生产者提供的投资津贴构成了《中华人民共和国反补贴条例》第三条下的财政资助，即“出口国（地区）政府以拨款、贷款、资金注入等形式直接提供资金”；同时，德国政府直接以现金形式提供投资津贴的行为属于“出口国（地区）政府以拨款、贷款、资本注入等形式直接提供资金”，而以税收减免形式实现“投资津贴”的行为属于“出口国（地区）政府放弃或者不收应收收入”。德国政府的行为，构成了《反补贴条例》

第三条下的“为接受者带来利益”；德国《投资津贴法》明确规定，只有在柏林市（直辖州）、勃兰登堡、梅克伦堡-前波美拉尼亚、萨克森、萨克森-安哈特和图林根等联邦州中的投资项目才能够获得补贴，因此此项目具有《反补贴条例》第四条下规定的专向性，属于“制定特定区域内德企业、产业获得的补贴”。

1、财政资助的认定

根据欧盟政府答卷，德国投资津贴法对本项目进行了规定。经过多次修订，目前最新的版本是2010年投资津贴法。原东德人民议院决议为原东德实行投资津贴，1990年作出了投资津贴规定的决议，把新的联邦州和东柏林纳入资助区，并于1990年7月1日生效。1991年的投资津贴法代替原来的税务改革框架安排来实现上述目的。该法律的目标是推动扩大短期的额外的公司投资，以便尽快地给新的联邦州和柏林带来经济动力，并为给新的联邦州和柏林的持续的投资活动创造吸引力。2010年的投资津贴法此项资助延期到2013年12月31日。

该法规定的投资资助是针对德国东部各州经济行业的广泛资助。通过1999年，2005年，2007年和2010年的投资津贴法对投资津贴资助不断调整，到2013年底为止一直继续在以集中的形式对德国东部各州的企业投资进行资助。被资助的行业为加工业(约80%)，某些跟生产有关的服务行

业(约15%)和旅馆业(约5%)。

从欧盟政府的答卷中可以看出，投资津贴是从公法的地方政府机关的财政预算中支出，具体是由税务局从所得税和公司所得税收入中支付，因此投资津贴是由公法的地方政府机关承担的(联邦/各州和乡镇)，并且由各州财政机关负责管理投资津贴。

德国瓦克化学股份有限公司答卷中称，本项目是德国联邦政府的一个联邦项目。目标是在德国五个新州促进投资，同时还界定了创造就业的目标。

对于申请人指控的某些项目，德国东部地区“投资津贴”项目在《2010年投资津贴法》中有规定。该项目主管机构是联邦经济技术部（“BMWI”）。具体执行该项目的是相关税务部门。该项目由在投资支出后的年份直接支付财政资金构成。

根据德国瓦克化学股份有限公司的答卷可以看出，德国政府根据此项目向瓦克化学股份有限公司提供过投资津贴。

根据《反补贴条例》第三条的规定，出口国（地区）政府以拨款、贷款的形式直接提供资金应当为财政资助。调查机关经初步调查认定，在该项目下，德国政府（包括相关税务部门）向瓦克化学股份有限公司提供投资津贴，符合上述规定，构成了财政资助。

2、专向性的认定

根据欧盟政府答卷，该项目下的资助地区包括柏林市（直辖州）、布兰登堡州、梅克伦堡-前波莫瑞州、萨克森州、萨克森-安哈特州以及图林根州。

根据《反补贴条例》第四条的规定，制定特定区域内的企业、产业获得的补贴，具有专向性。调查机关经调查后初步认定，德国东部地区“投资津贴”项目通过立法的方式给予特定区域内的企业投资津贴，符合《反补贴条例》第四条规定，具有专向性。

3、补贴利益的确定

德国瓦克化学股份有限公司在答卷中称，公司集团中个别公司曾获得过该项目下的投资津贴，并对获得赠款的情况进行了说明。经补充问卷询问，该公司又提供了调查期及之前9年该公司及其关联公司获得该项目下投资赠款的一些具体项目，并进行了相关说明。

调查机关在调查中发现，该公司2009年、2010年、2011年和2012年的合并财务报表附注04“固定资产开发”中，均有一项是“因投资补贴产生造成的成本降低”。在相关定义中，对于此项的解释是“购臵和生产成本因第三方资助减少。除非另行说明，否则该等资助(投资补贴)均是由政府机构提供的。未被未来费用抵消的资助收入被确认为收入。”对此项目，调查发放补充问卷要求公司详细说明此项金额包括的具体内容，包括这些投资补贴包括哪些具体项目?每一项目是由哪个

政府部门给予的?每一项的具体金额是多少?给予每一项补贴的条件是什么?每一项补贴是与哪些产品或者哪些活动相关?。

该公司在补充问卷的回答中称，公司无法根据项目提供分解数据，只能根据公司提供分解数据，同时公司称，除了在欧盟之外获得的拨款，这里的全部投资拨款都是来自于补贴问卷中报告的“共同任务”拨款和“投资津贴”拨款。调查机关对这部分数据进行了审查，虽然公司称这里的数字包含了欧盟之外的投资拨款情况，但是在公司提供的按公司分解数据时，并没有提供欧盟外的投资拨款情况。

在给欧盟政府的原始问卷和补充问卷中，调查机关要求欧盟政府提供在调查期内和之前9年中，欧盟内申请德国—东部地区“投资津贴”项目的所有公司清单、已经有权获得或者已经实际获得该项目利益的所有公司的名单以及实际获得的利益额。欧盟政府在原始答卷和补充问卷的答卷中均没有提供上述信息。

虽然瓦克化学股份有限公司报告了个别“投资津贴”拨款的项目，但由于瓦克化学股份有限公司称其财务报表中“因投资补贴产生造成的成本降低”的补贴均来自“共同任务”拨款和“投资津贴”拨款，且并未提供按项目分解的数据，因此，调查机关无法确认其报告的个别“投资津贴”拨款公司是否获得了利益，以及获得了多少利益。同时，欧盟政府

答卷中也没有提供“投资津贴”下详细的获得拨款的公司名单，调查机关无法与公司报告的数据进行核对。

根据《反补贴条例》第六条的规定，以拨款形式提供的补贴，补贴金额以企业实际接收的金额计算。因此在初裁中，调查机关暂以公司财务报表中“因投资补贴产生造成的成本降低”的补贴数额为瓦克集团获得的补贴利益额（包括“共同任务”和“投资津贴”两个补贴项目），并将该数额按照瓦克集团公司的销售额比例分摊至全部销售的产品。

由于公司对于财务报表中的“因投资补贴产生造成的成本降低”项没有提供欧盟外的投资拨款情况，调查机关在初裁阶段暂依据公司报告的欧盟内按公司分解的数据的总和认定瓦克集团获得的补贴。

虽然瓦克集团公司包括瓦克化学股份有限公司以及其他关联公司，调查机关认为，关联公司获得的补贴使得整个集团受益，在初裁阶段，调查机关将整个集团获得的补贴分摊至整个集团销售的所有产品，以此比例确定瓦克化学股份有限公司获得的补贴额。

由于该公司2009年至2012年财务报表中均有该项目，且其数额占公司总销售额的比例比较接近，说明该公司近几年中均获得了类似数额的补贴，据此，在初裁中，调查机关暂认定将该项目为可重复项目，按照调查期的数据计算出补贴额作为该公司在该项目下获得的补贴额，不再按照 10年

的期限进行分摊。

公司报告的季度财务报告中没有上述“因投资补贴产生造成的成本降低”的数据，调查机关暂依据2011年和2012年的数据计算出的比例的平均值作为调查期的补贴额占销售额比例。

根据上述计算方法，认定德国---“改善区域经济结构共同任务”投资赠款和德国—东部地区“投资津贴”项目两个项目调查期内瓦克化学股份有限公司获得的利益占其总销售额的比例为9.7%。以此比例为该公司在两项目下的从价格补贴率。

（三）欧洲投资银行政策性贷款

申请人主张，欧洲投资银行是根据1958年《欧洲联盟运作条约》设立的，根据《欧洲投资银行章程》的规定，欧洲投资银行应在非盈利的基础上，向不发达地区的开发项目提供贷款和融资担保。

申请人主张，欧洲投资银行的优先放贷原则包括：（1）执行欧盟“凝聚与趋同”政策，作为“结构基金”的补充向欧盟内部地区的发展项目提供政策性贷款；（2）执行“促进新能源和可再生能源的发展”政策，向新能源产业提供政策性贷款。

申请人主张，欧洲投资银行的贷款低于市场利率，还款期限长，其与德国复兴信贷银行的贷款同归于“公众补贴贷

款”。

申请人主张，德国瓦克化学股份有限公司在2002年、2008年和2009年从欧洲投资银行获得了3笔政策性贷款，总金额为8.5亿欧元。申请人主张，欧洲投资银行是欧盟“国有银行”，代表欧盟各成员国利益，执行欧盟政策，属于《反补贴条例》第3条下的公共机构；欧洲投资银行向被调查产品生产者提供政策性贷款，构成了《反补贴条例》第三条下的财政资助；欧洲投资银行向被调查产品生产者提供低于同期市场利率的政策性贷款，使得被调查产品生产者节省了财务费用，构成了《反补贴条例》第三下的“为接受者带来利益”。同时，申请人还主张，这三笔贷款具有地域专向性和法律专向性。

1、财政资助的认定

根据欧盟政府答卷，欧洲投资银行是根据1957年的《罗马条约》由主权国家政府创设的，于1958年成立。欧洲投资银行的所有人为欧盟成员国。欧洲投资银行的资本由欧盟成员国认缴。根据《欧洲投资银行章程》第12条，欧洲投资银行致力于实现欧盟的优先目标。

欧洲投资银行的成员为认缴其资本的欧盟成员国，即欧洲投资银行的股东为欧盟成员国政府。

欧洲投资银行的理事会由27个成员国各自指定的部长（通常为财政部部长）组成。理事会制定信贷政策方针、批

准年度决算和资产负债表，并决定欧洲投资银行在欧盟以外参与融资运作及增资事宜。理事会负责任命董事会、管理委员会和审计委员会的成员。理事会应根据欧盟的宗旨制定银行信贷政策的总体方针。理事会应确保上述方针得到执行。

根据《欧洲联盟运作条约》第309条的规定：“欧洲投资银行的任务应在于依靠资本市场和利用自身资源，为了欧盟的利益，致力于欧盟内部市场的平衡、稳定发展。为此目的，欧洲投资银行应在非营利性运作的基础上，为促进所有经济领域中符合如下条件的项目的融资提供贷款和担保：

（a）欠发达地区的开发项目；

（b）企业现代化或转型项目或欧盟内部市场的建立或运作所需新型活动开发项目，前提是该等项目的规模或性质使其无法通过单个成员国境内可供利用的方式来获得全部的资助；

（c）给多个成员国带来共同利益的项目，且其规模或性质使其无法通过单个成员国境内可供利用的方式来获得全部的资助。

欧洲投资银行在实施任务时，应结合来自结构基金和其他欧盟金融工具的援助促进投资项目的融资。”

从上述欧盟政府答卷内容可以看出，欧洲投资银行是由欧盟成员国创设，致力于执行特定政策目标的公共机构。根据欧盟政府和瓦克化学股份有限公司的答卷都可以看出，欧

洲投资银行向瓦克化学股份有限公司提供过贷款。

根据《反补贴条例》第三条的规定，出口国（地区）政府或者其任何公共机构提供的并为接受者带来利益的财政资助构成补贴。出口国（地区）政府或者其任何公共机构以拨款、贷款、资本注入等形式直接提供资金，或者以贷款担保等形式潜在地直接转让资金或者债务应当为财政资助。调查机关经初步调查认定，在该项目下，欧洲投资银行向瓦克化学股份有限公司提供贷款，符合上述规定，构成了财政资助。

2、专向性的认定

根据欧盟政府的答卷，“欧洲投资银行的任务应在于依靠资本市场和利用自身资源，为了欧盟的利益，致力于欧盟内部市场的平衡、稳定发展。为此目的，欧洲投资银行应在非营利性运作的基础上，为促进所有经济领域中符合如下条件的项目的融资提供贷款和担保：

（a）欠发达地区的开发项目；

（b）企业现代化或转型项目或欧盟内部市场的建立或运作所需新型活动开发项目，前提是该等项目的规模或性质使其无法通过单个成员国境内可供利用的方式来获得全部的资助；

（c）给多个成员国带来共同利益的项目，且其规模或性质使其无法通过单个成员国境内可供利用的方式来获得

全部的资助。

欧洲投资银行在实施任务时，应结合来自结构基金和其他欧盟金融工具的援助促进投资项目的融资。”

根据《欧洲联盟运作条约》第309条的规定，欧洲投资银行致力于通过融资运作和其他活动参与欧盟的优先目标之实施。欧洲投资银行为下列所有经济领域中的项目提供贷款:--支持中小企业（SMEs）的发展--解决地区间的经济与社会失衡问题--保护并改善自然环境和城市环境

--凭借信息与通信技术领域的投资以及人力与社会资本，促进创新

--连接地区与国家间的运输和能源基础设施--为有竞争力的安全能源供应提供支持

根据上述内容可以看出，欧洲投资银行的经营活动有特定的目的，并具有特定的优先目标，即在“按照最佳银行业实践和优先目标”的情况下，向具体的资本项目提供长期贷款，以促进欧盟目标的实现。这些具体的优先目标包括“支持中小企业（SMEs）的发展、解决地区间的经济与社会失衡问题、保护并改善自然环境和城市环境、凭借信息与通信技术领域的投资以及人力与社会资本，促进创新、连接地区与国家间的运输和能源基础设施、为有竞争力的安全能源供应

提供支持”

根据欧盟政府答卷，欧洲投资银行对申请项目的具体评估标准也包括对上述优先目标的审核。

欧盟政府在答卷中也声称，获得欧洲投资银行贷款的资格并不限于特定行业中的企业或产业。任何产业和任何行业的任何公司只要其满足相关的跨产业优先目标和资格标准，均能够有资格获得欧洲投资银行贷款。欧洲政府答卷同时声称，欧洲投资银行贷款并不是供数量有限的特定企业使用。此外，欧洲投资银行并未向特定企业提供不成比例的大金额贷款。

但是，调查机关在欧盟政府提交的答卷的表格中发现，欧洲投资银行在2005年至2009年及2009年欧洲投资银行向欧盟境内提供的贷款事实上主要向通信基础设施和能源，或者能源和交通运输等产业发放，这些产业获得的贷款比例接近或者超过50%。事实上欧洲投资银行向特定产业提供了不成比例的大金额贷款。而且，本案被调查产品太阳能级多晶硅属于能源产业的产品，能源产业是欧洲投资银行事实上提供了不成比例的大金额的产业。

根据《反补贴条例》第四条的规定，由出口国（地区）政府明确确定的某些企业、产业获得的补贴，以及由出口国（地区）法律、法规明确规定的某些企业、产业获得的补贴，具有专向性。在确定补贴专向性时，还应当考虑受补贴企业

的数量和企业受补贴的数额、比例、时间以及给与补贴的方式等因素。调查机关经调查后初步认定，欧洲投资银行事实上向特定产业提供了不成比例的大金额贷款，符合《反补贴条例》第四条规定，具有专向性。

3、补贴利益的确定

调查机关审查了调查期内欧洲投资银行向瓦克公司提供的贷款情况。根据瓦克公司和欧盟政府的答卷，调查机关发现，在调查期内，欧洲投资银行向瓦克公司提供的贷款中有专门用于被调查产品的贷款，也有专门用于其他产品的贷款。在初裁中，调查机关暂只对专门用于被调查产品的贷款情况进行认定，并将将这种贷款获得的利益根据被调查产品的销售额进行分摊，得出该项目的计算补贴幅度。

根据《反补贴条例》第六条的规定，以贷款形式提供补贴的，补贴金额以接受贷款的企业在正常商业贷款条件下应支付的利息与该项贷款的利息差额计算。欧盟政府和瓦克公司答卷中多次称欧洲投资银行向瓦克公司提供的贷款利率不低于市场利率，是按照市场条件确定的商业利率。但是，无论是欧盟政府还是瓦克公司都没有提供充足的证据证明欧洲投资银行提供给瓦克公司的贷款不低于正常商业贷款条件下的利率。

对于专门用于太能源多晶硅的贷款，调查机关在初步裁定中，暂采用瓦克公司与该笔贷款获得时间相近的时间里，36

瓦克公司获得的商业贷款利率和瓦克公司发行的债券的利率来计算正常商业贷款条件下的基准利率，并据此计算瓦克公司在该项贷款下获得的利益。在计算基准利率时，调查机关将该段期间内瓦克公司获得的商业贷款利率和公司发行的债券的利率平均值作为商业贷款利率基准。在此基础上，调查机关在初步裁定中认定瓦克公司在该项目下获得的补贴率为1.07%。

未配合调查公司

2012 年11月1日，调查机关对欧盟进口太阳能级多晶硅发起反补贴调查立案当日，调查机关通知了申请书上列明的出口商或生产商，通知了欧洲联盟驻华代表团，同日，调查机关将立案公告登载在商务部网站上，任何利害关系方均可在商务部网站上查阅本案立案公告。立案后，调查机关给予各利害关系方20 天的登记应诉期，给予所有利害关系方合理的时间获知立案有关情况。

立案后，调查机关向申请书中列明的出口商和生产商发放了调查问卷，并将调查问卷登载在商务部网站上，任何利害关系方可在商务部网站上查阅并下载本案调查问卷。

调查机关尽最大能力通知了所有已知的利害关系方，也尽最大能力向所有已知利害关系方提醒不配合调查的结果。对于申请书中列明的、调查机关已尽通知义务但没有提供必要信息配合调查的公司，调查机关根据《反补贴条例》的规

定，在可获得事实的基础上裁定各公司的从价补贴率如下：

德国：

Schmid Group Joint Solar Silicon(JSS)意大利：

MEMC Electronic Materials SpA MEMC Electronic Materials SILFAB S.p.A.Estelux S.r.l.PrimeSolar S.r.l.西班牙：

Siliken Spain 调查机关采纳了瓦克化学股份有限公司的证据材料作为可获得的事实，认定上述未配合调查公司的从价补贴率。

其他公司

对于申请书中未列明的其他公司，以及申请书中列明并提交初步证据表明调查期内未向中国出口的公司，调查机关依据配合调查公司的数据和信息来确定相应的从价补贴率。

调查机关采纳了瓦克化学股份有限公司的证据材料认定其他欧盟公司的从价补贴率。其中申请书中列明并提交初步证据表明调查期内未向中国出口的公司为PV Crystalox Solar GmbH、法国Apollon Solar公司。

综上，各公司从价补贴率分别为：

1．配合调查公司。

瓦克化学股份有限公司 10.7%（Wacker Chemie AG）2．未配合调查公司。德国：

Schmid Group 10.7% Joint Solar Silicon(JSS)10.7% 意大利：

MEMC Electronic Materials SpA 10.7% MEMC Electronic Materials 10.7% SILFAB S.p.A.10.7% Estelux S.r.l.10.7% PrimeSolar S.r.l.10.7% 西班牙：

Siliken Spain 10.7% 3．其他欧盟公司。10.7%（All Others）10.7%

七、产业损害及损害程度

（一）补贴进口产品进口量及所占国内市场份额。1.补贴进口产品进口量。

根据中国海关统计，调查期内，来自欧盟的补贴进口产品进口量呈上升趋势，2008年为3932.17吨；2009年为6867.55吨，比2008年上升74.65%；2010年为11622.49吨，比2009年上升69.24%；2011年为14643.28吨，比2010年上升25.99%。2011年1-6月为6873.96吨，2012年1-6月为9179.88吨，比2011年1-6月上升33.55%。

2.补贴进口产品所占国内市场份额。

调查显示，补贴进口产品占国内市场份额2008年为23.77%；2009年为16.55%，比2008年下降7.22个百分点；2010年为12.87%，比2009年下降3.68个百分点；2011年为10.02%，比2010年下降2.85个百分点；2011年1-6月为9.66%，2012年1-6月为12.00%，2012年1-6月比2011年1-6月上升2.34个百分点。

瓦克化学股份有限公司提出4：在审查被调查产品的进口数量时，不能仅看进口的绝对数量，更应看重进口的相对数量。调查期内，与被调查产品的进口量相比，国内同类产品的产量和国内表观消费量的上升趋势更为明显，被调查产品进口量的增幅明显低于国内同类产品产量和国内表观消费量的增幅。在调查期内，国内同类产品的市场份额迅速上升，而被调查产品的市场份额呈明显下降趋势。因此，相对于国内同类产品生产或消费数量，被调查产品相对进口量没有大 4详见《太阳能级多晶硅产品反倾销案产业损害调查进一步抗辩意见》第20-22页

量增加反而呈下降趋势。因此，不存在由于进口数量相对增加造成中国国内产业实质损害的事实。

对此，调查机关认为，《反补贴产业损害调查规定》规定，调查机关对补贴进口产品数量的审查，包括补贴进口产品的绝对数量是否大量增加，或相对于国内同类产品生产或消费数量是否大量增加。本案中，调查机关已对补贴进口产品绝对数量和相对数量是否增长进行了考查，补贴进口产品进口绝对数量大幅增长是客观的事实，调查机关据此判断损害是否存在符合法律的规定。

（二）补贴进口产品价格和国内产业同类产品价格。1.补贴进口产品价格。

在中国海关统计数据的基础上，调查机关考虑了汇率和关税税率，计算出了调整后的补贴进口产品价格（人民币价格）：2008年为158.92万元/吨；2009年为56.31万元/吨，比2008年下降64.57%；2010年为39.04万元/吨，比2009年下降30.67%；2011年为39.94万元/吨，比2010年上升2.31%；2011年1-6月为44.28万元/吨，2012年1-6月为22.55万元/吨，同比下降49.07%。

2.国内产业同类产品价格。

调查机关在对《国内生产者调查问卷答卷》汇总的基础上，计算出国内产业同类产品价格。调查期内，国内同类产品价格2008年为192.34万元/吨；2009年为47.67万元/

吨，比2008年下降75.22%；2010年为43.74万元/吨，比2009年下降8.24%；2011年为32.03万元/吨，比2010年下降26.77%；2011年1-6月为40.99万元/吨，2012年1-6月为14.56万元/吨，同比下降64.48%。

（三）补贴进口产品对国内产业同类产品价格的影响。调查机关对补贴进口产品价格和国内产业同类产品价格的趋势进行了比较，认为二者均呈下降趋势。

调查期内，补贴进口产品数量呈快速上升趋势，2009年比2008年上升74.65%，2010年比2009年上升69.24%，2011年比2010年上升25.99%，2012年1-6月比2011年1-6月上升33.55%。调查期内，补贴进口产品数量占有的国内市场份额虽然有所波动，但始终在9.66%~23.77%之间。

调查机关认为，调查期内，补贴进口产品进口数量持续上升，且占有一定的国内市场份额，其价格变化对国内产业同类产品的销售价格等指标具有一定影响。调查机关在计算补贴进口产品价格时，已经考虑了汇率和关税税率，并对补贴进口产品价格进行了调整。调查机关注意到，国内产业同类产品价格与补贴进口产品价格均不包含增值税、内陆运输费用、保险费、次级销售渠道费用。

调查期内，补贴进口产品价格呈快速下降趋势，2009年比2008年下降64.57%，补贴进口产品数量快速上升，2009年比2008年增长74.65%，在补贴进口产品价格和数量的双

重压力下，国内产业同类产品销售价格下降至47.67万元/吨，下降幅度达75.22%，低于同期补贴进口产品价格。2010年，补贴进口产品价格继续下降，下降幅度为30.67%，补贴进口产品数量继续上升，上升幅度为69.24%，在补贴进口产品持续降价、数量持续上升的压力下，国内产业被迫继续降低价格至43.74万元/吨，下降幅度为8.24%，但仍高于补贴进口产品的39.04万元/吨。2011年，补贴进口产品价格虽然有所增长，但这是在价格明显低于国内产业同类产品基础上的恢复性增长，同时，补贴进口产品数量继续增长，幅度为25.99%，国内产业同类产品价格则进一步下降，幅度为26.77%。2012年1-6月，补贴进口产品价格进一步大幅下降，幅度达49.07%，进口量上升幅度为33.55%，市场份额增加了2.34个百分点，对国内产业同类产品产生了显著影响，2012年1-6月份，国内产业同类产品价格大幅下降至14.56万元/吨，同比下降64.48%。

综合考虑上述因素，调查机关认定，调查期内，补贴进口产品对国内产业同类产品价格产生了压低作用。

（四）国内产业相关经济因素和指标的评估。根据《反补贴条例》第八条和《反补贴产业损害调查规定》第五条、第七条的规定，调查机关审查了补贴进口产品对国内产业的相关经济因素和指标的影响。

1.表观消费量。

调查期内，国内太阳能级多晶硅表观消费量2008年为16543.79吨；2009年为41489.36吨，2009年比2008年增长150.79%；2010年为90304.54吨，2010年比2009年增长117.66%；2011年为146130.62吨，比2010年增长61.82%；2011年1-6月为71123.28吨，2012年1-6月为76480.80吨，比2011年1-6月增长7.53%。

2.产能。

调查期内，国内产业同类产品产能2008年为3545.00吨；2009年为15023.00吨，2009年比2008年增长323.78%；2010年为35771.00吨，2010年比2009年增长138.11%；2011年为92025.00吨，比2010年增长157.26%；2011年1-6月为24750.00吨，2012年1-6月为47250.00吨，比2011年1-6月增长90.91%。

3.产量。

调查期内，国内产业同类产品产量2008年为2963.55吨；2009年为11169.73吨，2009年比2008年增长276.90%；2010年为29701.43吨，2010年比2009年增长165.91%；2011年为51200.9吨，比2010年增长72.39%；2011年1-6月为22655.20吨，2012年1-6月为28483.61吨，比2011年1-6月增长25.73%。

4.销售量。

调查期内，国内产业同类产品国内销售量2008年为

2502.36吨；2009年为9271.46吨，2009年比2008年增长270.51%；2010年为30197.45吨，2010年比2009年增长225.70%；2011年为46482.03吨，比2010年增长53.93%；2011年1-6月为22253.81吨，2012年1-6月为32268.76吨，比2011年1-6月增长45.00%。

5.市场份额。

调查期内，国内产业同类产品市场份额2008年为15.13%；2009年为22.35%，比2008年增加7.22个百分点；2010年为33.44%，比2009年增加11.09个百分点；2011年为31.81%，比2010年减少1.63个百分点；2011年1-6月为31.29%，2012年1-6月为42.19%，比2011年1-6月增加10.9个百分点。

6.销售价格。

调查期内，国内产业同类产品国内销售价格2008年为192.34万元/吨；2009年为47.67万元/吨，比2008年下降75.22%；2010年为43.74万元/吨，比2009年下降8.24%；2011年为32.03万元/吨，比2010年下降26.77%；2011年1-6月为40.99万元/吨，2012年1-6月为14.56万元/吨，同比下降64.48%。

7.销售收入。

调查期内，国内产业同类产品国内销售收入2008年为481302万元；2009年为442011万元，比2008年下降8.16%；

2010年为1320901万元，比2009年增长198.84%；2011年为1489004万元，比2010年增长12.73%；2011年1-6月为912196万元，2012年1-6月为469777万元，比2011年1-6月下降48.50%。

8.税前利润。

调查期内，国内产业同类产品税前利润2008年为319709万元；2009年为98214万元，比2008年下降69.28%；2010年为401193万元，比2009年增长308.49%；2011年为557696万元，比2010年增长39.01%；2011年1-6月为449706万元，2012年1-6月亏损65817万元。

9.投资收益率。

调查期内，国内产业同类产品投资收益率2008年为35.94%；2009年为6.52%，比2008年减少29.42个百分点；2010年为13.36%，比2009年增加6.84个百分点；2011年为14.70%，比2010年增加1.34个百分点；2011年1-6月为12.55%，2012年1-6月为-1.49%。

10.开工率。

调查期内，国内产业同类产品开工率2008年为83.61%；2009年为74.35%，比2008年减少9.26个百分点；2010年为83.03%，比2009年增加8.68个百分点；2011年为55.64%，比2010年减少27.39个百分点；2011年1-6月为91.54%，2012年1-6月为60.28%，比2011年1-6月减少31.26个百

分点。

11.就业人数。

调查期内，国内产业同类产品就业人数2008年为2746人；2009年为3406人，比2008年增加24.03%；2010年为6006人，比2009年增加76.34%；2011年为7931人，比2010年增加32.05%；2011年1-6月为7448人，2012年1-6月为7419人，比2011年1-6月减少0.39%。

12.劳动生产率。

调查期内，国内产业同类产品劳动生产率2008年为1.08吨/人；2009年为3.28吨/人，比2008年增长203.87%；2010年为4.95吨/人，比2009年增长50.80%；2011年为6.46吨/人，比2010年增长30.54%；2011年1-6月为3.04吨/人，2012年1-6月为3.84吨/人，比2011年1-6月增长26.22%。

13.人均工资。

调查期内，国内产业同类产品年人均工资2008年为66501元；2009年为63739元，比2008年下降4.15%；2010年为67492元，比2009年增长5.89%；2011年为69551元，比2010年增长3.05%；2011年1-6月为29792元，2012年1-6月为27235元，比2011年1-6月下降8.58%。

14.期末库存。

调查期内，国内产业同类产品期末库存2008年为146吨；2009年为842吨，2009年比2008年增长476.71%；2010

年为169吨，2010年比2009年减少79.93%；2011年为4391吨，比2010年增长2498.22%；2011年1-6月为315吨，2012年1-6月为3939吨，比2011年1-6月增长1150.48%。

15.经营活动现金净流量。

调查期内，国内产业同类产品经营活动现金流量净额2008年为481715万元；2009年为19958万元，比2008年下降95.86%；2010年为498682万元，比2009年增长2398.66%；2011年为311271万元，比2010年减少37.58%；2011年1-6月为238878万元，2012年1-6月为净流出67624万元。

16.投融资能力。

调查期内，由于国内产业同类产品盈利能力持续下降，经营状况恶化，企业投融资能力出现下降，国内产业产能扩展计划被搁臵。申请人向调查机关提供的项目搁臵通知和银行来函显示，调查期内，银行终止了向申请人投资计划授信，国内产业投融资能力受到一定影响。

综上分析并根据现有调查证据，调查期内，国内市场太阳能级多晶硅表观消费量呈持续快速增长趋势，在市场需求增长的推动下，国内产业同类产品的产能不断扩大，产量、销售量、市场份额、劳动生产率、就业人数均呈总体增长趋势，人均工资呈平稳趋势，国内产业同类产品单位销售成本呈下降趋势。在此情况下，国内产业的盈利能力本应有所增

长。但是，调查期内国内产业同类产品的销售价格持续大幅下降，同时国内产业同类产品的单位毛利润和毛利率也呈总体下降趋势，国内产业的盈利能力有所下降。

受盈利能力下降影响，国内产业同类产品在产量和销售量都持续增长的情况下，经营活动现金净流量不仅没有出现相应的增长趋势，反而自2011年起呈下降趋势，调查期内，期末库存总体呈增长趋势，国内产业同类产品税前利润和投资收益率总体呈下降趋势，部分企业投融资能力受到影响。2012年1-6月，国内产业同类产品单位毛利润、毛利率、税前利润和投资收益率降至调查期内的最低水平，国内产业同类产品税前利润和投资收益率降至负值，国内产业的财务和经营状态严重恶化，陷入亏损状态。

综上，调查机关认定，国内产业受到了实质损害。

八、因果关系

（一）受欧盟政府补贴支持的进口产品造成了国内产业实质损害。

调查显示，调查期内，欧盟政府通过一系列的补贴政策使其太阳能级多晶硅产品在价格上更具优势，以占据中国国内市场。

中国海关统计数据显示，调查期内，受到欧盟政府补贴支持的进口产品进口量呈持续快速上升趋势，2009年比2008年上升74.65%；2010年比2009年上升69.24%；2011年比

2010年上升25.99%；2012年1-6月比2011年1-6月上升33.55%。

调查期内补贴进口产品占国内市场份额2008年为23.77%，2009年为16.55%，比2008年下降7.22个百分点；2010年为12.87%，比2009年下降3.68个百分点；2011年为10.02%，比2010年下降2.85个百分点；2011年1-6月为9.66%，2012年1-6月为12.00%，2012年1-6月比2011年1-6月上升2.34个百分点。

调查期内，补贴进口产品数量持续快速增长，占有一定的国内市场份额，补贴进口产品价格呈总体下降趋势，对国内产业同类产品价格产生了压低作用。在此影响下，国内产业同类产品价格呈大幅下降趋势，期末比期初下降了 92.43%。因此，国内产业同类产品在市场需求快速增长，产能、产量和销售量也相应增长的情况下，销售收入反而呈先上升后下降的不稳定趋势，期末库存呈增长趋势，经营活动现金净流量呈恶化趋势。

多晶硅生产中 篇6

摘要：随着晶硅太阳电池光电转换效率的提高，其光衰也随之提高，成为高效晶硅电池科技发展的瓶颈。本文介绍了近年来对掺硼晶硅太阳电池的光衰减问题及衰减机制，指出硼与间隙氧的存在是引起掺硼晶硅太阳电池光照衰减的主要因素，并对如何减小或避免光衰减的改善措施进行了分析。

晶体硅太阳电池是最重要的光伏器件，近年来一直是硅材料研究界和光伏产业界的重点关注领域。众所周知，常规的晶体硅太阳电池都是基于P型掺硼硅晶体制造的，但这种电池存在着光衰减现象，也就是指电池在服役过程中转换效率会发生迅速衰减的现象。该现象已经成为制约高效太阳电池发展的一个重要瓶颈。

目前光衰减现象的性质和机理还未完全清楚，它是当前国际上晶体硅太阳电池材料和器件方向的研究热点之一。本文着重阐述了现有的P型晶体硅太阳电池光衰减的机理与抑制（或消除）光衰减的措施。1衰减机理

Fischer和Pschunder在1973年发现了掺硼Cz-Si太阳电池的光衰减问题[1]，如图1所示。该研究表示1Ωcm掺硼直拉硅电池在光照一段时间后电池性能衰减较为明显；随光照时间的延长，衰减趋于稳定达到饱和值；后在一定温度光照一定时长后，电池性能得到完全恢复。经过几年的联合研究[2]，通过大量的实验清楚的认识了Cz-Si光衰减的缺陷，证实了引起Cz-Si光衰减缺陷的主要成分是硼和氧。研究指出在晶体硅中硅的原子半径要比B的原子半径大25%，故后者更易于吸引硅中的间隙氧原子。同时，由两个间隙氧原子组成的双氧分子O2i与替位的硼原子结合，从而形成B-O复合体。这种观点已得到Adey等的理论计算支持，并提出了如下反应的B-O形成机制模型。2改进措施

对于硼氧复合体来说，通常是采用降低硅材料中硼或氧含量、用其他掺杂元素来替代硼等措施进行改善，主要有以下几种。

1）N型电池。

使用N型硅片也是解决电池光衰减问题的方法之一，主要是由于N型硅太阳电池对杂质的容忍度要明显大于P型硅电池。但从P型电池工艺的丝网印刷来看，N型电池在转换效率上一些关键工艺还有待解决，而且制造成本也没有优势。

2）优化减反膜。

Kang研究发现，虽然采用沉积SiCxNy减反膜比SiNx沉积减反膜的电池初始效率要低一些，但在效率的绝对光衰减方面，采用沉积SiCxNy要比沉积SiNx的电池低0.3%，衰减后两者效率相当。其原因是在SiCxNy薄膜中含有较多的碳，其会通过高温烧结的过程扩散到硅材料中，与氧来形成碳氧相关的复合体，减少了硅中氧的浓度，进而减少了硼氧复合体的浓度。

3）掺镓。

Meemongkolkiat等研究发现掺镓能够完全抑制光衰减，掺镓Cz-Si作高效电池具有很大潜力。但由于镓在硅中的分凝系数比硼在硅中的分凝系数要低，以致掺硼的硅棒电阻率比掺镓的硅棒电阻率在沿晶体生长方向的变化较大，使得工艺控制相对较难，这也是其现阶段仍难较大推广的原因所在。

4）采用磁控直拉硅单晶技术或降低硼的掺杂浓度。

磁控直拉硅单晶技术已经在生产中得到较好的应用，已证明其不仅能良好的控制直拉硅单晶中的氧含量，且能有效改善硅单晶电阻率的均匀性，但需提供激磁电源并配置磁场设备，增加了工艺难度与生产成本。降低硼的掺杂浓度，使用得到的高阻材料制作电池（如5-10Ωcm），但在制作背场时需要较高的工艺要求。

5）采用区熔单晶硅技术。

区熔单晶硅技术不仅有效抑制了直拉工艺中大量氧进入硅晶体的固有缺陷，而且彻底解决了P型（掺硼）太阳电池的光衰减现象。区熔单晶硅主要用于IC和其它半导体器件的硅片制造，但由于其生产成本较高，迫使一些公司对区熔单晶硅工艺进行相关优化，降低了成本，以适合于太阳电池硅片的制造，目前该项技术已取得了一定的成绩。

6）适当增加补偿度。

研究表明，只有未被磷补偿的硼才能与氧二聚物形成硼氧复合体。因此为了减弱光衰减，可适当增加补偿度来减少净硼含量。这是因为在补偿硅材料中，硼氧缺陷的浓度与净硼浓度呈线性关系。闻震利[3]等人发现在含B和其它杂质含量都比较高的硅材料中，通过掺入P补偿过多的B，可以延长少数载流子的寿命、提高低质量硅片的电阻率，从而提高电池效率，同时还能够达到抑制光衰减的目的。

7）提高掺硼P型直拉单晶硅棒的质量。

首先从多晶硅料的料源入手，避免掺入过多的其他不合格的次品硅料，如IC的废N型硅片或复拉的埚底料等，均会造成晶棒的氧含量高，位错密度大，内应力大，电阻率不均匀等现象，进而会严重影响太阳能电池的效率与稳定性。

8）加强电池生产工艺的过程控制。

在制绒过程中，尽量要使绒面小而均匀，要求做到无色差、花篮印、发白及手指印等现象；扩散工序要求方阻均匀性与PN结的深浅一致性；切边要求切除边上的PN结，切后漏电流要小一些；去PSG工序要求腐蚀过后表面清洁，沥水效果要好；丝印工序要注意浆料粘稠度与网板、硅片等相匹配才能达到比较好的效果，同时也要注意背面铝浆的厚度，栅线的宽度和高度等。3结束语

太阳能级多晶硅生产工艺 篇7

随着全球范围内传统能源的枯竭以及石油价格不断攀升,太阳能作为环境友好能源受到全世界的广泛关注。尤其是如何生产高效率、低费用的太阳能电池成为科学家的研究重点。多晶硅是作为光伏转换器最好的材料之一,在未来50多年的时间内,还不可能有其他材料能替代硅成为电子和光伏产业的主要材料[1]。在太阳能电池组件中,作为原材料之一的高纯多晶硅占总费用的20%[2,3]。因此,在不影响转化效率的前提下,降低多晶硅的费用是降低太阳能电池费用的主要方法。降低多晶硅费用的方法有:(1)研发低成本半导体级多晶硅的生产工艺或在已有工艺的基础上降低生产成本。(2)生产低纯度、低成本但是能满足太阳能电池生产需要的多晶硅,也称为太阳能级多晶硅。1975年至今,世界各地的科学家在降低半导体级硅生产成本以及生产低成本太阳能级多晶硅方面做出了巨大的努力。

1 挥发性硅化合物的还原或热分解法

挥发性硅化合物的还原或热分解法生产多晶硅是以冶金级硅为原料,基于气相纯化的一种工艺方法[4]。表1列举了通过挥发性硅化合物的还原或热分解生产高纯硅的几种主要生产方法[5]。

1.1 三氯氢硅氢还原法

三氯氢硅氢还原法是由西门子公司研发的,故又称为西门子法。该方法开始于20世纪50年代,经过数十年的应用和发展被不断完善,先后出现了第一代、第二代、第三代生产工艺,而第三代西门子法生产工艺被称为“改良的西门子法”[6]。改良的西门子法实现了完全闭路生产,是目前国际主流厂商生产多晶硅的主要工艺[7,8]。世界上有7家大公司使用该方法生产多晶硅,产量占当今世界总量的70%~80%[6,9,10]。

该方法第一步是通过冶金级硅和干燥的HCl反应生成中间产物SiHCl3。化学反应方程式为:

Si+3HCl → SiHCl3+H2 (1)

然后对产物进行化学提纯,得到高纯三氯氢硅,杂质总量降低到10-7~10-9数量级[11]。

第二步用氢还原高纯的三氯氢硅,所用氢必须提纯,以免污染产品。在生产多晶硅时,要以高纯硅棒作为载体,并加热到1100℃。化学反应方程式为:

SiHCl3+H2 → Si+3HCl (2)

生产实践证明,三氯氢硅比较安全,方便运输、储存,且该方法工艺成熟,经验丰富,产品质量高。同时改良的西门子法还实现了H2、SiHCl3、SiCl4和HCl的循环利用,完善的回收系统又可保证物料的充分利用。生产流程图见图1。

为了提高SiHCl3的一次转化率和沉积速率以便能更有效地降低生产成本,世界各大多晶硅厂商都在现有成熟固定床技术的基础上,用流态化技术改造传统的西门子法反应器。流化床反应器很大程度上增加了反应面积,使得反应速率明显提高,从而降低硅生产能耗和成本。该方法生产的多晶硅是粒状,不能直接提供区熔使用,但可以作为连续直拉硅的原料,目前产品产量和纯度比钟罩型还原炉技术低,但是完全可以满足太阳能级硅的要求。

西门子法的派生技术——气液沉积法,也引起了广泛关注。该方法的优点主要有:(1)采用石墨管状炉可将反应温度提高到Si熔点以上,不但有效地提高了SiHCl3的还原率,在很大程度上也提高了Si的沉积速率,约为经典西门子工艺的10倍。(2)在生产过程中,硅以液态出现,解决了流化床技术中出现的粉尘问题,还可实现连续操作。但是该方法所得产品中碳和重金属的含量较高,碳原子含量为0.01%,重金属原子含量约为0.00001%,用该产品制备的太阳能电池的效率为15.6%[6]。如果辅以除碳工艺,该方法可以大大降低太阳能级多晶硅的生产成本。尽管如此,西门子法生产成本高、投资大、工艺流程长、三氯氢硅还原率低、技术操作难度大等缺点依然存在。

1.2 硅烷法

硅烷法是以硅烷为提纯的中间产物,经过热分解制取多晶硅的方法。该方法的主要步骤是制备中间产物硅烷,主要制备方法有:(1)硅化镁法。使Mg2Si与NH4Cl在液氨中反应生成硅烷。这种方法原料耗量大、成本高、危险性大。(2)以SiF4与NaAlH4为原料制备硅烷,该方法由美国MEMC公司采用。(3)歧化法。歧化法是目前制备硅烷的主要方法。该方法是以冶金级硅为原料,通过生成中间产物SiHCl3而制取硅烷,其副产物SiCl4和H2都可以循环使用,分为3步。

(1)SiCl4、H2与冶金级硅混合反应合成SiHCl3,该反应在500℃、30MPa条件下进行。反应方程式为:

3SiCl4+2H2+Si→4SiHCl3 (3)

(2)SiHCl3歧化生成SiH2Cl2和SiCl4,经过精馏得到高纯SiH2Cl2,SiH2Cl2再进行催化歧化反应,并经过精馏提纯得到高纯SiH4。该反应在60℃、0.3MPa条件下进行。反应方程式为:

2SiHCl3→SiH2Cl2+SiCl4 (4)

2SiH2Cl2→SiH4+SiCl4 (5)

(3)SiH4在800~1000℃条件下热分解得到高纯硅。反应方程式为:

SiH4 → Si + H2 (6)

由于该生产过程的反应温度很低,因此多晶硅的生产成本明显降低。以每年1000t的生产规模为例,据估计1kg多晶硅成本仅为20美元,但是还没有在实际生产中得以证明。尽管如此,在今后的研究中,硅烷法的生产工艺一定会得到改进,并将设计一套基于硅烷法的低成本生产设备[12]。该方法与西门子法比较,具有硅烷易提纯、含硅量高、分解速率快、分解率高、分解温度低、能耗低、硅产品纯度高、转化率高、副产物少等优点,但是也有突出的缺点:硅烷易燃、易爆、安全性差且粉尘多[13]。为了降低成本,硅烷的热分解过程也引入了流化床技术。该方法的优点有:(1)由于流化床分解炉无需大量的冷却水降温,能耗降低。(2)可以提高硅烷的分解速率和硅的沉积速率。缺点是制备的多晶硅纯度没有固定床分解炉高,但是完全可以满足太阳能级硅的质量要求。

1.3 氯硅烷还原法

用金属或化合物(如NH3或CH4)还原氯硅烷生产太阳能级多晶硅,Hunt列举了用此方法生产多晶硅的可能性反应[4]。但是,到目前为止,能够大量商业生产的研究主要是Na和Zn还原氯硅烷生产多晶硅。

1.3.1 Na还原法

Na还原法是分别将SiCl4和Na汽化后送入石墨反应器,SiCl4与Na直接反应生成多晶硅。反应方程式为:

SiCl4 + 4Na → Si + 4NaCl (7)

该反应的副产物NaCl为气态而Si为液态,因此,在反应器中它们以两相存在。从反应器中出来后,用一个温度保持在1425℃的坩埚收集。此时,NaCl作为气体收集,而液体硅在坩埚中收集,在1425℃条件下的收集效率可达到60%~80%。该方法生产的硅的主要杂质是Na((300~600)×10-6)和B(<25×10-6),其他的杂质含量都在5×10-6以下[14]。该方法要保证原料以及收集坩埚的纯度,它们的纯度越高,所得多晶硅的纯度就越高。

与该方法相似,用Na还原SiF4也可制取低成本的多晶硅。SiF4可以由磷肥厂的副产物H2SiF6制取。将NaF加入H2SiF6反应可制得99%纯度的Na2SiF6。反应方程式为:

H2SiF6 + NaF → 2HF + Na2SiF6 (8)

高纯Na2SiF6干燥后,在700℃下热分解得到SiF4。反应方程式为:

Na2SiF6 → 2NaF + SiF4 (9)

将Na碎粒送入装满SiF4气体的反应器中,反应器要预热到400℃,在1.01×105Pa下SiF4与Na反应生成Si。反应方程式为:

SiF4 + 4Na → Si + 4NaF (10)

反应产物Si和NaF以及少量的Na2SiF6移到石墨坩埚中,加热到1420℃以上,此时熔融的硅粒集中在下层,而NaF则聚集在上层,冷却后形成明显的2层,从而达到完全分离。Si也能用酸浸的方法分离出来。用此方法制备的硅主要杂质有:Na (1×10-6)、Cr(3×10-6)、Fe (< 7×10-6)、Ni (2×10-6)、Cu (4×10-6)、B (0.1×10-6)、P (0.2×10-6),其他杂质的含量都小于0.5×10-6 [15]。

1.3.2 Zn还原法

由于锌比氢的化学活性强,Zn-Cl键的亲和力比H-Cl键亲和力更强,早在20世纪50年代就有人用过此方法,但是该方法制备的多晶硅纯度达不到电子级,因此被西门子法取代。近来随着太阳能电池的发展,美国的Battelle Clumbus研究所[16]重新对此方法进行了研究。该方法包括3个基本步骤:(1)在含有硅种子颗粒的流化床内进行SiCl4的锌还原反应。(2)ZnCl2的熔盐电解得到Zn和Cl2,从而实现循环利用。(3)通入熔盐电解的产品Cl2,并加入原料SiO2、C和SiC或冶金级硅,合成得到SiCl4。实验设备由一个直径为50mm的石英流化床反应器构成,该反应器带有一对完整的Zn加热器,把Zn加热为气体,并带有热电偶,从而控制温度。原料SiCl4在一个单独的容器中瞬间汽化,然后从流化床的底部预加热后,进入流化床。反应的副产物通过一个石墨衬底的无压钢冷凝器,该冷凝器带有吸气机和未反应SiCl4的二次冷凝装置。在流化床中,以大约250μm的硅颗粒作为种子,将Zn粉碎并加热到900~1027℃,这时Zn为气态,在927℃条件下与SiCl4反应得到Si。反应方程式为:

2Zn(g) + SiCl4(g) → Si(s) + 2ZnCl2(g,l) (11)

用此方法制备的硅中杂质B的含量为0.02×10-6,主要杂质是Zn (3000×10-6)、Fe(5×10-6)、Ni (25×10-6)和Cu (4×10-6)[17]。由于锌挥发性高,在制作过程中可挥发掉,对制备太阳能电池没有影响。该方法具有流程短、设备少、投资少、操作简便、锌的化学活性强、沉积速度快、电耗低、生产周期短等优点。不足的是制取的硅纯度较低,不能达到电子级,但能达到太阳能级,因此该方法可制备低成本太阳能级多晶硅。周鸿军等[18,19]对锌还原法的产业化应用进行了研究分析,并报道了进展情况。日本SST公司对锌还原法进行了开发和技术深化,可以制备纯度达到6N(99.9999%)以上的多晶硅[20]。目前,日本智索、新日矿控股、东邦钛3家公司从2007年开始共同对其独特的锌还原法(JSS)制造太阳能电池用多晶硅技术进行产业化研究,可生产8~9N(99.999999%~99.9999999%)级多晶硅[21]。锌还原法已经发展成为一种生产低成本太阳能级多晶硅的工艺,生产工艺见图2[22]。

西门子法的主要副产物是SiCl4,如果将此方法用于处理西门子法的副产物,是一种不错的选择。西门子法主要生产半导体级多晶硅,而锌还原法生产太阳能级多晶硅,既能满足当前太阳能级多晶硅日益增长的需求,又减少了西门子法的生产成本,并能实现整个生产的闭路循环。

1.3.3 等离子氢还原法

等离子氢还原法是在一个30kW的等离子体反应器上进行,H2作为放电气体产生等离子,同时也作为SiCl4的还原剂,再将SiCl4直接通入反应器。在反应器中,氢气被等离子体化后解离为化学活性的原子态,原子氢再与SiCl4反应生成多晶硅。该方法一次转化率超过70%,纯度达到7N,生产成本低、能耗小,并且该方法为多晶硅生产原料的选择放宽了条件,产品纯度达到太阳能级,为低成本太阳能级多晶硅生产提供了一条新途径[23]。

2 冶金级硅精炼法

冶金级硅精炼法是以冶金级硅(98.5%~99.5%)为原料,经过冶金提纯得到纯度在99.999%以上用于生产太阳能电池的多晶硅原料的方法[24]。冶金级硅的主要杂质是Fe、Al、Ca、Ti、B和P[25],然而含量会随着地域的不同而改变。该生产过程主要有湿法精炼、火法精炼和定向凝固等步骤。

2.1 湿法精炼

湿法精炼常作为冶金级硅精炼法的第一步,将冶金级硅粉碎至20~40μm,再加入各种酸进行浸出。为了优化这个精炼过程,按不同的顺序加入酸(HCl、HF、H2SO4和王水),并控制不同操作条件(温度、浓度和时间)进行实验[26,27,28]。总的来说,通过酸浸能降低1~2个数量级的杂质[26]。通过这个过程,能除去Fe、Al、Ca等金属杂质,然而不能有效地去除B、P、C杂质。

2.2 火法精炼

火法精炼是将由惰性气体稀释后的活性气体(氯气、氧气或它们的混合物)通入熔融硅中,溶解在硅中的杂质与活性气体反应生成挥发性的气体或形成渣而去除[29]。Al、Mg、Mn和B很容易与氯气反应生成挥发性的氯化物(1400℃以上),Al、B、Mg、Ti、P、Ca和C与氧气反应生成相应的氧化物,CO2很容易被气体带走,除B和P外的其它杂质的氧化物进入渣中,B和P的氧化物很难除去。然而湿氢气作为活性气体时,能与B形成硼化氢而有效地去除杂质B。CO2作为活性气体时,能有效地去除P和C。总的来说,火法精炼能降低1个数量级的杂质,重要的是能降低主要杂质B、P和C的含量。科研人员已经对火法精炼做了大量的研究,通过设计不同的步骤和设备有效地去除杂质。如在真空炉中通过电子束的作用,硅中的磷含量能彻底地去除;液态硅在槽中精炼可以使碳含量由100×10-6降低到5×10-6,硼含量从14×10-6降低到(0.1~0.3)×10-6,磷含量从26×10-6降低到0.05×10-6[30]等。

2.3 定向凝固

定向凝固通常是作为冶金级硅精炼法的最后一步,是确保制备的多晶硅达到太阳能级的主要步骤,在冶金级硅精炼过程中起着至关重要的作用。由于在硅中,除B和P外气体杂质的偏析系数都很小,因此用此方法能有效地除去其他杂质,但是只能微弱地去除B和P。

由上述3种方法可知,单独的任何一种方法都不能制备太阳能级多晶硅。因此需要对冶金级硅精炼的各种方法按照最优化的方式组合在一起。如进行综合处理后的多晶硅的杂质含量如下:B、P、Fe、Al的含量都低于0.1×10-6;C的含量低于5×10-6 [30]。总的来说,冶金级硅精炼法不能有效地去除B和P,因此在选料时如果选用B和P含量少的冶金级硅,能制备纯度很高的多晶硅。

3 展望

多晶硅产业过剩了吗? 篇8

根据会议传达出来的信息，国家发改委、工信部对多晶硅行业的第二轮调研即将展开，该摸底将对多晶硅产能是否过剩形成更为确切的结论，而技术更先进、规模更大、产业更环保的多晶硅投资或将松绑。

而在第一轮调研基础上公布的《国务院批转抑制部分行业产能过剩若干意见的通知》表明，政府对风电设备、多晶硅产业曾做出产能过剩的判断，意在控制新能源产业出现的低水平重复建设，但对高水平的产能依旧持支持态度。那么，多晶硅产业是否真的存在过剩?

被戴上“过剩”的帽子

此前的8月底9月初，国家发改委、工信部对多晶硅行业进行第一轮摸底。据了解，第一轮调研主要面向地方政府及多晶硅企业。地方政府层面，调研要求将已建、在建和规划的多晶硅、单晶硅、太阳能电池的产量等一并上报；企业层面，包括江苏中能硅业、赛维LDK、洛阳中硅等在内的巨头情况均成为重点调研的目标对象。

9月26日，国务院发布《国务院批转抑制部分行业产能过剩若干意见的通知》，对六大行业的产能过剩和重复建设进行了严格限制，其中，多晶硅和风电设备赫然在列。多晶硅行业被国务院常务会议明确点名为6大产能过剩行业之一。

《通知》要求，严格控制在能源短缺、电价较高的地区新建多晶硅项目，对缺乏配套综合利用、环保不达标的多晶硅项目不予核准或备案，新建多晶硅项目规模必须大于3000吨／年。

对此，有业内人士认为，准入制度的出发点是从产业规模、能耗和环境保护标准三个方面确立了进人多晶硅生产行业的“门槛”。很多专家认为，设置这个门槛的目的在于让企业更加注重能耗的指标，注重自主技术研发，因为多个指标是综合衡量的，这样可以有效地避免盲目的非理性的投资。

但是业界对于3000吨／年的规模限制却有很多争论，因为按照产能衡量，要达到3000吨／年的生产标准，项目投资额就得在20亿左右，一些企业认为这个指标将把很多民营企业拦在门槛之外。

而另外一些企业认为，《通知》执行起来有偏差。业内人士称，“《通知》明确了产业门槛、技术及环保标准，为推动产业健康发展的重要保障，但本应有保有压的政策，执行起来被有些地方或具体部门搞‘73切，一些企业技术高端、单线3000吨以下的多晶硅项目被搁置，而且利用技改提升产能的项目也没被核准。”

自从《通知》下发以来，关于多晶硅产能是否过剩问题，部分多晶硅企业、中国可再生能源学会、一些地方政府都提出不同意见。不同意见均认为，所谓过剩，其实并非是绝对产能过剩，而是低端产能、低效产能、低劣产能的过剩。但是高端、优质的多晶硅目前仍然供不应求，且世界光伏市场仍在高速成长，工艺先进、质量优异的高端多晶硅产业缺口仍需要企业去填补。

是否真的过剩?

多晶硅为什么会被戴上“产能过剩”的帽子?

此前投资多晶硅一度成为国内热潮。在投资热潮的带动下，多晶硅行业出现了重复建设的情况，很多技术含量不高的生产线仓促上马。

官方资料显示，到2009年6月底，我国有19家企业多晶硅项目投产，产能规模达3万吨／年，另有十多家企业在建、扩建多晶硅项目，总规划产能预计到2010年将达到五六万吨，几年后则将达到十七八万吨，而2008年我国多晶硅的总需求量才1.7万吨。从相关统计数据看，目前我国拟建、在建和建成多晶硅生产线有几十条，这些生产线如果全部按计划建设完成，其产能有可能超过当前世界总需求。

实际上，这种产能过剩的说法还存在两个问题，第一，当前所说的多晶硅产能的相当部分都是计划中的，属于虚拟的，口头的，没有付诸实际；第二，产能过剩的评判依据是当前的世界装机需求，没有动态考虑中国、印度等新兴市场以后的需求。

长期以来，我国的多晶硅产业进行的是一种两头在外的模式。没有稳定的国内需求市场，企业的生产就很容易受国际市场的影响。2008年太阳能电池产量为2300兆瓦，国内安装仅为50兆瓦，98％左右出口国外。受金融危机影响，国外需求大幅下降，而国内市场迟迟未能打开，导致全产业链的经营状况都遭受重大影响，出现“过剩”。

被“点名”之后，很多地方政府力推的“新能源产业规划”已经基本上进入了暂停的状态。而很多地方没有土建的多晶硅项目已都被叫停，已经进入土建阶段的项目有不少也开始重新评估，有的甚至遇到了信贷的瓶颈。

但是，随着国家“新兴战略性产业”的提出，一轮新的投资热潮又在酝酿当中，据业内人士介绍，现在很多地方政府都在制定“新兴战略性产业的发展振兴规划”，各地都在新兴战略性产业中挑出适合自己发展的产业，做出规划，等待时机成熟的时候向外释放。

研究发现，虽然我国晶硅产能扩张很快，但由于建设周期及市场波动，多晶硅产业一直供不应求。

2008年我国多晶硅产量为4000吨左右，占全国总需求量的20％。据测算，如果2009年国内的光伏电池产量保持在2008年2300兆瓦的水平，按照每兆瓦光伏电池需要12吨晶硅的行业平均水平计算，共需2.8万吨多晶硅。而2009年预计全国多晶硅生产量将达到1万吨左右，这意味着还需要进口近2万吨多晶硅，才能满足国内的需求。在自给率从约20％提升至50％的同时，占一半的需求仍仰赖进口。

以天津海关统计的数据为例，1至9月天津口岸进口多晶硅1955吨，价值1.9亿美元，分别比去年同期增长88.8％和78.5％。而来、自江苏方面的数据显示，江苏上半年2／3企业需要依靠外省或从国外进口多晶硅，其中尚德集团今年上半年多晶硅原材料进口占总应用规模的比例高达90％。

“五六万吨的规模相对于国内市场来说，并不能算是过剩，但是盲目投资，上马技术含量很低的多晶硅生产线的趋势的确应该注意。”业内人士表示，尽管多晶硅行业近年新上马的项目较多，但随着国内市场的逐步启动和“市场之手”的调整，我国的多晶硅“实际产能”并未出现所谓的“过剩”。

第二轮调研，高端投资或将松绑

工信部及发改委所要进行的第二轮调研，调研内容主要看是否过剩、如何定义过剩，此次调研的范围更广，覆盖的企业也更多。地方政府层面，将会细化到筹建工作进度、是否开工及开工进度等内容；下游企业则主要看电池和组件行业对多晶硅是否“过剩”的态度，摸清他们的用量情况及

对市场需求的看法。

有专家认为，新能源产业出现产能过剩是由其发展阶段决定的。“从目前的发展情况来看，由于发展速度很快，出现一定程度上的产能过剩是正常的，也是有利于产业发展的。应当遏制的是恶性的，非理性的投资。”

专家指出，新兴产业处于产业生命周期的初期，本身就具有较大的不确定性。这种不确定性一方面来自其自身还没有形成稳定的盈利模式，另一方面来自于多种技术的竞争和优选。因此，短期的“产能过剩”会促使企业进行差异化竞争，有利于形成主流技术以及技术标准，使技术选择进一步向科技含量更高、效率更高、节能环保更优的技术和产品集聚。同时，竞争也将引起企业之间的并购，促使产业整合和提高集约度。

专家强调，创新不仅是技术问题，而且是复杂的科学、工程、经济中国科技发展战略研究院产业经济发展研究所副所长刘峰“过剩”有利于在竞争中促进产业升级

中国对外贸易：工信部及发改委所要进行的新一轮多晶硅产业调研，调研内容主要看是否过剩、如何定义过剩，此次调研的范围更广、涵盖的企业也更多。您认为多晶硅产业是否真的存在过剩?

刘嶂：产能过剩一般是成熟产业才会存在的，多晶硅和风电产业都属于新兴产业，如同新生儿，基本不会罹惠“老年病”。所谓“产能过剩”，实际上是快速成长的产业供应链内短期出现的各环节之间、上卞游之间以及彦能与基础设施之间的不平衡、不衔接，符合新兴产业发展的普遍特点和规律。市场的阶段性失衡不能叫产能过剩，更不应抑制发展。

发展中的问题只能通过发展解决，只要不拿纳税人的钱去砸，“过剩”有利于在竞争中促进产业升级。太阳能光伏和风能产业是我国发展新能源、推动经济结构调整、培育战略性新兴产业的重要方向，应该正确认识新兴产业发展初期的阶段性特点，正确利用产业规制方法，着力解决发展面临的问题，推动这些产业更好地发展。我们绝不能固噎废食，错过抢占全球新能源竞争制高点，培育新能源产业的犬好时机。

中国对外贸易：目前产能过剩论者的主要观点来自于：到2009年6月底，我国有19家企业多晶硅项目投产，产能规模达5万吨／年，另有十多家企业在建、扩建多晶硅项目，总规划产能预计到2010年将超过10万吨，而2008年我国多晶硅的总需求量才1.7万吨。您怎么看待这一依据?

刘峰：把可能的或规划上的产能都计入实际有效产能，显然夸大了对“产能过剩”的估计。而在缺乏准确、客观数据的情况下，用“产能过剩”来描述多晶硅这一新兴产业发展的阶段性问题，会在一定程度上影响我们对新兴产业成长规律的正确判断。随着各国经济的复苏，光伏产业已经出现回暖迹象，晶硅价格已经出现上升，新一轮增长将会出现。

中国对外贸易：您认为现阶段存在产能过剩的原因是什么?

刘峰：多晶硅产能过剩主要是由于国内需求不足和电网基础设施跟不上造成的。太阳能发电具有随机性和间歇性的特点，使得电网运行控制的难度加大，安全稳定运行存在较大的风险，因此，光伏发电很难进入现有的电网体系。同时，太阳能光伏发电成本较高，各国主要依靠补贴运行，而我国入网支持政策落实不到位。这两方面的原因导致国内需求这一瓶颈尚未突破。

多晶硅产业某些环节出现阶段性供需失衡与成熟产业产能过剩有本质不同。比如我国风电制造业现已形成涵盖叶片、齿轮箱、发电机、塔架等主要零部件的生产体系。从风电整机的供需情况看，叶片和整机近两年投产的产能已超过了未来2年预计的市场需求，有可能出现产能过剩。根据国内主要风电整机厂商的产能扩张计划测算，2009-2010年若全部达产，全国整机产能将分别达到1100和1900万千瓦左右，明显超过我国风电发展规划预测的市场需求。同时，由于叶片在整机中所占价值较高，国内的叶片生产企业近几年快速增加，导致叶片产能超过整机l产能。在整机和叶片两个环节出现的过剩主要是企业驱利的结果，也是一个迅速扩张的市场上尚未形成有效竞争，从而促进产业内部整合的阶段性现象，是新兴产业发展初期出现的阶段性特征，与钢铁、水泥等成熟产业的产能过剩具有本质不同。

新兴产业的发展需要整体产业链、配套设施、基础设施的协调发展。目前，我国在促进多晶硅产业发展上尚未形成系统的政策体系，一定程度上存在着“左脚迈出去、右脚跟不上的现象。

中国对外贸易：继9月底《国务院批转抑制部分行业产能过剩若干意见的通知》后，环保部、国土资源部等纷纷出台文件，对多晶硅和风电设备环保准入和用地提出了更高的要求。您认为多晶硅行业发展现状如何?

刘峰：提高环保准入门槛等是必要的，从总体上看，虽然我国在高纯多晶硅制备技术和清洁生产技术方面取得了突破性的进展，但晶硅产业整体的制备工艺、关键核心设备目前仍依赖引进，特别是大型节能还原炉技术，设备严重缺乏，主要依赖进口。

要素和制度相互作用的过程。当前，各国都在寻找可靠、安全、环保和可持续的能源供给途径，新能源已成为全球竞争的战略制高点。针对多晶硅、风电等新能源产业体系建设滞后、瓶颈约束比较严重的现象，我们不能收回前进的步伐，而更应该加速配套产品、基础设施、准入接入的制度和技术、管制制度等的完善与配套。以培育产业为主线，加快自主创新。把握规律，促进相关行业更好更快发展。

对于如何抑制部分低水平重复上马项目的问题，专家表示，最重要的应该是设立标准体系，严格准入制度。由于没有完备的准人体系，部分没有核心技术，也不具备生产资质的企业在高额利润的驱使下，纷纷投入光伏领域。只有通过在区域内设置发展规划，从企业立项开始严格把关，加强过程中督导，建立淘汰机制，才能使我国的多晶硅产业建设处于可控可调状态，保证产业的健康、有序发展。