旋转LED（共3篇）
旋转LED 篇1
旋转LED球形屏是一款新型的新颖的居家装饰品和字幕宣传工具, 适合家庭、汽车、娱乐场所等的装饰, 也同样适合作为超市、宾馆、商厂、大型广场等的宣传显示工具。其主要目的是能够360度全方位观赏屏幕显示的内容, 给人以立体的观赏效果, 给观众带来美的享受。
基本思路
1.用最少的LED开发一种新型的立体显示屏幕, 可以从各个方向欣赏到显示的内容, 并且功耗要低!
2.设计一款中型的点阵屏幕, 不需要拆卸即可以通过无线方式随时随地改变屏幕显示的内容, 像书写普通的液晶屏一样方便。
3.可以很方便的使屏幕内容处于静止、放大或者旋转状态, 使屏幕更加人性化。
4.可以水平放置、垂直放置、悬挂放置, 适合不同的用户固定到不同的场地。
5.设计出一种新颖的居家装饰品, 能够营造出一种舒适温馨的场景, 给人带来愉悦的心情。
基本原理
本屏幕由核心控制模块、旋转显示模块、无线模块、字库模块、电机驱动模块、对管定位模块等模块及外壳、电源构成。
旋转的扇叶设计为圆形, 在扇叶上设有一圈LED, LED的发光颜色为单色或多色, 当扇叶围绕着中心轴旋转时, 会产生一个球面, 而且在球面上全部都是LED, 配合字模软件, 当扇叶走到相应的位置时, 点亮相应的点, 这样就可以控制一个球面的显示内容了。
硬件设计
1. 核心控制模块
核心控制模块采用STC12C5A60S2系列1T单片机, 控制模块主要是无线接收过来的数据进行判断, 从而执行不同的动作。是整个屏幕的控制核心处理各种数据, 控制外部期间执行各种动作。如图1所示。
2. 旋转显示模块
旋转显示模块采用阵列的方式排列LED, 布线非常方便, 而且对单个点或多个点控制方便, 控制显示简单易行, 而且显示效果很好。
3. 无线模块
无线模块使用的是RF2401, 2.4GHz全球开放ISM频段免许可证使用、最高工作速率1Mbps、高效GFSK调制、抗干扰能力强、内置硬件CRC检错和点对多点通信地址控制、低功耗、内置2.4GHz天线、可软件设地址等功能。如图2所示。
4.字库模块
字库模块是用字库芯片GT21L16S2W, 该芯片是一款内含11×12点阵和15×16点阵的汉字库芯片, 支持GB2312国标简体汉字 (含有国家信标委合法授权) 、ASCII字符及GB2312与Unicode编码互转表。如图3所示。
5.对管定位模块
对管定位模块是有双对管控制, 为处理器提供位置脉冲, 处理器会根据当前显示屏的模式来对接收到的对管脉冲进行判断, 可以选择单球屏显示或者双半球屏显示, 使显示更加赏心悦目。
6.电机驱动模块
在电机驱动方式上, 采用LM2596开关电压调节器直接驱动直流电机, 该芯片是降压型电源管理单片集成电路, 能够输出3A的驱动电流, 同时具有很好的线性和负载调节特性, 用滑动变阻器直接调节输出电压来调节直流电机的转速, 操作简便。如图4所示。
软件设计
系统采用C语言编程实现各项功能。由于本系统处理的数据较多、较复杂, 利用C语言的优势完全可以体现出来。
1.系统主程序的实现
主程序主要起到一个导向和决策功能, 决定整个系统应如何正常运行。本系统各种功能的实现主要是通过调用子程序完成的。
当系统上电后, 程序开始执行初始化, 然后进入待机状态, 等待接收外部控制器发送过来的控制字符及操作字符, 然后通过判断控制字符来调用相应的子程序。主程序流程图如图5所示。
2.各个子函数的实现
各个子函数主要是通过对字库的调用、旋转显示板的控制来实现各个模式的功能。如图6所示。
演示方式中的各种模式与上图类似, 只是发送相应的控制字后执行的是屏幕自带的相应的演示程序, 这里就不再一一列举了。
3.无线刷屏技术的实现
本球形屏采用无线技术刷新屏幕, 方便实用。主要是通过RF2401模块实现无线通信, 该屏幕的大脑STC12C5A60S2全面分析接收过来的信息, 然后快速把处理的数据送至各个模块, 执行下一步动作。无线发送的数据构成整个屏幕运行的血液, 控制着整个屏幕的运行状态。
(1) 测试数据
经测试得出电流的数据如表1。
(2) 测试结果分析
通过实际测量, 发现该旋转LED球形屏功耗在2W左右, 而显示相同内容的点阵屏功耗在10W左右的, 功耗降低到1/5左右。利用LED的高亮度, 还可以作为警示效果, 比如高压警示, 水深警示等危险场所;由于其炫酷的显示效果、小巧轻便等诸多效果是送朋友生日新型的时尚礼物。
制作过程
制作这款旋转LED球形屏跨越了好几个月的时间, 总共制作了三版, 现在看到的是最终版。
第一版是我用万用板做的, 外形跟现在的基本相似, 也是一个圆, 圆面上焊接的插装的LED, 所有的都是飞线连接, 工作量可想而知。做了好几天才焊好。结果还算可以, 跟网上传的差不多, 但是效果没人家理想, 主要是供电做的不好, 还有就是插装的LED旋转起来的效果不好。
第二版是用DXP软件制作电路板, 画这种图是很累人的, 电路板腐蚀是用的盐酸+双氧水, 为了防止线被腐蚀断, 在画PCB时把线画的都是比较粗的, 单面板肯定是画不成的, 所以画的PCB是双面的, 焊接的LED是用的贴片的, 面积明显小了很多, 而且更加轻便了, 更加像是一件工艺品。制作出来后发现在旋转的情况下, 普通0808封装的贴片LED亮度有点小, 不过还凑合, 还有就是LED个数少, 导致分辨率不高, 但是作为普通的使用还是足够了。
为了精益求精, 制作了第三版, 还是采用双面的PCB, 只不过采用1206封装的LED, 个数比第二版的提高了一倍。由前两次的经验, 这次做的还是比较快的, 效果还算理想。
通过制作旋转LED球形屏, 我学到了很多, 发现自己要做的还有很多。下面是我制作旋转LED球形屏的总结。
1.供电方式
a.采用模仿电机供电, 把固定读硬盘的磁头那一部分取下来当作电刷用, 收音机天线的铝管当作换向器, 如此可以把直流电通过“电刷”传给“换向器”, 再传给上部旋转部分的控制器及LED。
实验结果:自制的电刷及换向器的导电效果很不好, 时有断电的情况, 即使是在上部旋转部分的供电处并联一个很大的电容也不行, 效果不理想。
b.采用电机本身供电, 就是从电机的换向器上引线, 一般是细铜丝, 从电机上部引出, 铜线跟电机轴同步, 把上部旋转部分固定到电机轴上, 电源通过电机本身的电刷及换向器。
实验效果:这种方式是网上很推崇的, 也是最稳定的一种。但是由于本人在做硬件改造方面做的不好, 改了两个电机都是以失败而告终。
c.采用在电机上套装与直流电机同样的换向器及电刷, 把与电机同规格的换向器及电刷套到电机伸出的轴上, 固定的这个换向器与上部的旋转部分相连接, 电源通过该电刷把电源传给换向器, 再传给上部旋转部分。
实验效果:效果很好, 没有出现断电的情况, 这样与下部电机基本上没有关系, 不会产生很大的干扰。
2.电机选择
a.选用直流电机, 直流电机控制方便, 改变速度效果明显, 之前一直在用直流电机。但是直流电机有个最大的缺点就是改装不方便, 噪声大, 速度跟力矩的比例关系太大。
b.选用无刷电机, 无刷电机改造容易, 可以很方便的从中间安装一个轴, 这个轴可以固定上部旋转部分, 速度快, 稳定, 力矩也大。但是研究了一星期也没有搞定无刷电机的控制方式, 最笨的方法就是直接用硬盘的驱动板, 感觉那样没啥意思, 就放弃了这种方案。
3. 电路的选择
a.采用74LS595级联控制LED, 电路图简单, 布线方便。但是最大的缺点是不能位控, 最少是8位控制, 不符合最初的设想。
b.采用矩阵的方式控制LED, 通过3片74LS138控制矩阵的X、Y, 选择点亮的点, 控制方便、灵活、速度快。
4. 书写屏幕的方式
a.采用自制的电刷, 采用自制的电刷, 弄四个环当换向器用, 这四个环分别连接上部旋转部分的电源正、负、RXD、TXD, 通过串口传输数据。
实验结果:数据传输很不稳定, 经常出现错误, 而且由于制作工艺问题, 电刷与换向器连接不是很好, 影响速度。
b.采用无线通信的方式, 把需要传输的数据通过无线的方式传给上部旋转部分, 使上部旋转部分改变显示的内容。
实验结果:经过多次验证, 最后确定供电方式采用在电机上套装与直流电机同样的换向器及电刷, 电机用直流电机, 电路用矩阵的方式控制LED, 书写屏幕的方式采用无线通信方式。
旋转LED 篇2
近年来,随着科学技术的快速发展,人们对电子产品的要求越来越高。电子产品除了要满足人们对其功能上的需求外,还要满足人们对其在设计上有所创新的需求。
单片微型计算机简称单片机,是微型计算机的一个重要分支。它以无与伦比的高性能、低价位,赢得了广大电子开发者的喜爱,如今已被广泛应用于众多领域,具有非常好的市场发展前景。旋转LED时钟是一种利用人眼的视觉惰性,通过单片机控制旋转的LED灯的亮灭和电机的转速,让LED灯高速旋转形成LED屏,使其能显示时钟、文字或图形的充满创意的电子产品。本文研究设计并制作了一个基于单片机的旋转LED时钟。
1系统成像原理
旋转LED时钟通过单片机控制一排24个LED灯的亮灭和电机的转速,让LED灯高速旋转形成LED屏,即实现显示屏的平面显示效果。这里利用了人眼的视觉惰性,而视觉惰性又称视觉暂留效应。
视觉暂留效应是指物体反射的光在人眼视网膜上产生的视觉,在光停止作用后并不是立刻消失,而是会保留一段短暂的时间的现象。视神经对图像的视觉保留大概是0.1~0.4s,这就是视觉暂留效应。因此,假设人眼暂留图像的时间是0.4s,那么只要我们的24个LED旋转一周的时间快过0.4s,LED灯就会将在快速旋转过程中各个位置显示的图像叠加为我们预期的图像效果,使LED灯高速旋转形成LED屏,完成动态图像的显示。
2系统总体方案
本系统设计共有五部分组成:电机控制部分,LED显示屏控制部分,霍尔传感器定位部分,电刷部分和电源部分。
(1)电机控制部分:LED时钟的旋转由一个直流电机带动,采用12V直流电源带动电机转动。
(2)LED显示屏控制部分:在STC89C52单片机的P0、P1口上,接上16个贴片的LED;在P3.0上接上一个三极管8550,驱动8个贴片LED;P3.1驱动一个颜色不同的LED,总共25个。运用STC89C52单片机控制24个LED显示,达到显示指针时钟、数字时钟、图片、汉字等效果。
(3)霍尔传感器定位部分:运用霍尔传感器,使旋转板上的单片机能够准确知道电机是否已经旋转一周。
(4)电刷部分:采用电刷结构给旋转板供电。
(5)电源部分:采用220V转12V电源盒,其中12V电源可以直接给电机供电;12V电源经过7805稳压电路后转变成5V电源,通过电刷结构供给旋转板上LED显示屏的控制部分。
3硬件部分设计
3.1 LED显示屏控制部分
STC89C52系列单片机是宏晶科技因一代增强型含有8k B在线可编程Flash存储器的8051单片机。它具有低功耗、高性能的特点。STC89C52单芯片上拥有8位CPU和在系统可编程Flash。它为众多嵌入式控制应用系统提供的解决方案灵活、高效。
STC89C52功能标准如下:8k Flash,512BR RAM,32位I/O口线,4k B EEPROM,MAX810复位电路,看门狗定时器,3×16位定时器/计数器,一个6向量2级中段结构,全双工串行口。此外,因为STC89C52具有可降至0Hz静态逻辑操作的特点,所以支持2种软件,可选择节电模式。在空闲模式下,CPU停止工作,允许串口、定时器/计数器、RAM、中断继续工作。在掉电保护方式下,振荡器被冻结,RAM内容被保存,单片机停止一切工作,直到下一个中断或硬件复位后继续工作。
本设计中,STC89C52驱动24个LED,其中P0和P1分别驱动8个独立的LED,P30口通过8550驱动8个LED,P31驱动一个独立的LED。以上构成LED显示屏。在STC89C52和光电检测部分的控制下,达到显示指针时钟、数字时钟、图片、汉字等效果。
3.2霍尔传感器定位部分
3144霍尔传感器是一款单极霍尔开关电路。当磁N极靠近它的印章面时,开关输出低电平;当磁N极撤离后;开关输出高电平。如果想要用S极来控制开关,侧感应面就变为印章面的背面。当磁S极靠近它的印章面背面时,开关输出低电平;当磁S极撤离后,开关输出高电平。因此,安装使用时,改变感应面后控制磁极也应要作相应的改变才能感应。
系统采用3144霍尔传感器进行定位,其中一端口与STC89C52的P33口相连接,固定在旋转板子上面。当3144霍尔传感器与磁钢相对时,此电路会产生一个低电平,告知STC89C52电机已经转完一圈,从而控制LED显示。
3.3电刷部分
本设计中,系统控制部分电路布置在高速旋转的电动机上面,无法采用电线进行直接供电。设计采用电刷结构给旋转板上面各元器件供电。通过制作两个环形电刷,固定在电动机的转轴上面,外部电源的正负极分别与它们接触,这样就能实现外部供电,其中用电机轴作为地端。
3.4电源部分
12V电源经过7805电路可以转化为稳定的5V电源。
3.5旋转板结构设计
需要特别说明的是,本产品在制作过程中因为资源限制,采用了根据电路原理图画PCB电路板的方法,因此印制电路板较为困难,次品、废品较多。如果在资源允许的情况下,建议改用洞洞板方式,实行人工布线焊接,以提高成品率。
4软件部分设计
Keil Software公司出品的C语言软件开发系统Keil u Vision2,因为其使用接近于传统C语言的语法,具有兼容性好的特点。此外,Keil u Vision2允许在关键位置及时嵌入汇编语言,从而提高程序设计的工作效率。在本产品的软件部分设计,为更好地达到旋转LED时钟的数字、汉字或字母的显示效果,节约工作量,编程工具选用Keil u Vision2,编程语言选用C语言。
此外,要想在旋转的LED屏上显示图像,就要对图像进行取模。对于数字、符号或图形的取模,可以使用取模软件进行取模。例如,“PCtol CD”软件。它可以将输入的数字、符号或图形转化为二进制码,通过编程软件不断改进程序,即可实现所需图象的显示。
5调试与效果展示
调试的主要目的在于检验旋转LED时钟是否正确显示时间等信息,电路板要处于高速旋转的状态,故只能实际操作,不能仿真。首先要整机装配好,上电后进行软件调试。通过调试,发现硬件需要解决两个问题:一是供电问题,二是平衡问题。
5.1供电问题
单片机、LED等电路必须安装在高速旋转的电路板上,无法采用电线进行供电,导致系统供电变得极为麻烦。目前,针对这一问题有以下三种解决方法。
第一种,制作两个环形电刷,固定在电动机的转轴上面,外部电源的正负极分别与它们接触,实现外部供电。这是比较理想的方案,但是制作十分麻烦。
第二种,在电路板上做一个感应线圈,电机上放一块强磁铁,电机转动时通过电磁感应来获取电能。这种方法争议较大,且线圈部分制作难度较大。
第三种,电池内置法。电池放在电路上,在电动机作用下随着电路板共同转动,解决供电问题。这种方法制作难度低,但需要把电池固定好,解决旋转屏平衡的问题。
本设计中,电源的稳定性比较重要,制作电刷时一定要非常认真。
5.2平衡问题
解决供电问题后,要解决设计的平衡问题。显示时间的时候,电路板是高速旋转的状态,若整体不平衡,会导致震动大,整体走位严重,难以遥控调节时间,带来显示不清晰等问题。利用杠杆原理,观察哪一边较重,在轻的一边的电路板后端加一个电量耗尽的废弃电池或者其他可以调节平衡的小物件,之后用热能胶固定好,从而很好地解决平衡问题。
6结语
通过开发并制作基于单片机的旋转LED时钟,思考尝试将产品的开发与制作过程应用于相关专业课的课程设计中,以期提高学生的动手能力和解决实际工程问题能力,同时激发学生的创新能力和创新意识。
摘要：本文设计制作了基于单片机的旋转LED时钟。通过介绍旋转LED时钟的系统成像原理,阐述系统总体方案,并从电机控制部分、LED显示屏控制部分、霍尔传感器定位部分、电刷部分和电源部分五部分,详细阐述设计与制作流程,成功设计制作了一个基于单片机的旋转LED时钟。
关键词：旋转,LED,单片机,时钟
参考文献
旋转LED 篇3
关键词：LED芯片,高端封装,去胶机
0 引言
LED芯片是一种将直接电能转化为光能的半导体器件, 是现代信息产业的核心器件。随着我国科学技术的不断进步与微电子设备研制的发展, 国内从事芯片设计制造企业也逐渐增长到几百家, 但是他们普遍自主知识产权及自主创新设计制造水平不高。LED芯片制造及高端封装技术是技术密集型产业, 其发展水平离不开高端工艺与硬件设备。近年来国内微电子设备产业急速扩张, 而支撑其技术引领的高端设备却严重缺乏, 发展瓶颈逐渐成形。目前产业高端设备依然依赖国外进口, 亟需开发研制自己的高端设备。
LED封装就是在保证其芯片无损以及高光取出效率的前提下将外部引线与内部芯片电极相互连接。在整个LED产业链当中, 封装技术是产业与市场的连接纽带[1], 而在LED芯片制造和高端封装过程当中去胶这一工艺过程起着非常重要的作用。
1 当前面向LED芯片制造和封装去胶设备现状
随着科学技术水平的不断发展, 集成电路技术现已主要通过凸点封装模式来大幅提升封装密度与效率。凸点封装技术包括了膜沉积、光照、去胶等多项半导体芯片制备技术[2]。现代高端封装工艺一般面向300 mm晶圆、65 nm及以下极大规模集成电路封装需求, 开发凸点个数3000 以上、间距200 μm以内的小间距凸点制作技术和再布线技术。其核心过程是在已制成芯片的特征位置定义并形成凸点、重布层 (RDL) 或通孔 (Via) 等特征图形。由于特征尺寸的缩小、特征图形密度的增加, 其特征图形的定义就必须通过涂覆超厚胶膜、光刻、显影、去胶等工艺制程来实现。
图1 为典型凸点封装工艺流程图, 其中光刻胶膜较厚, 通常会达到50~100 μm。由于电镀产生的凸点一般会有类似蘑菇头的结构, 当凸点密度较大时, 采用传统槽式去胶, 其根部的光刻胶不易去除干净, 会影响后续的UBM刻蚀, 造成回流后凸点高度的不一致。因此急需开发一种高密度凸点封装工艺中所必须的全自动去胶机。
目前半导体IC封装的主要发展趋势为多引脚、窄间距、小型、薄型、高能、多功能、高可靠性和低成本, 对系统集成的要求越来越迫切, 三维集成封装技术由此应运而生。三维集成封装的两种最通用技术是通过传统打线结合结构的使用, 以及通过穿硅通孔 (TSV) 技术[3]建立芯片叠层的元件之间的电子连接性。然而, 当I/O个数和叠层数量增加的时候, 打线接合已经不实用。利用TSV技术实现芯片间的垂直通孔, 从而达到最大的堆叠密度和最小空间尺寸。TSV技术已经在逻辑线路、存储器、CMOS图像传感器 (CIS) 等产品的封装技术中得到部分应用, TSV在三维集成封装制造过程中已经变得越来越迫切。
相对于传统凸点封装[4], 3D-TSV工艺对新型光刻胶喷涂机、圆片键合机、硅片减薄机、TSV等离子刻蚀机和双面光刻机提出了新的需求。目前国内LED芯片和封装生产企业所采用的去胶设备均为手动或半自动去胶槽, 化学液消耗量较大, 工艺参数不易控制, 结果重复性差。在高端封装和LED工艺中, 光刻胶膜一般较厚, 通过开发面向LED芯片制造和高端封装旋转式去胶机, 实现高压喷射去胶液或常压喷洒去胶液, 结合兆声波的方法快速干净地去除光刻厚胶[5]。因此研制满足LED芯片制造和高端封装 (如:BGA、MCM、WLP、3D-TSV等) 生产需要的全自动湿法去胶设备 (简称去胶机) 尤为重要。同时, 该设备与双面光刻机、通孔 (TSV) 刻蚀机、圆片减薄机、高密度倒装机、电镀机、硅片清洗机等联线, 组成高密度封装和LED成套工艺设备, 可以促进当前高端封装技术发展。
2 旋转式去胶机的设计
2.1 布局设计
通过对满足LED芯片制造和高端封装生产需要的自动湿法去胶设备的研制, 实现该设备与双面光刻机、通孔 (TSV) 刻蚀机、圆片减薄机、高密度倒装机、电镀机、硅片清洗机等联线, 组成高密度封装和LED成套工艺设备。
整个设备的布局如图2所示, 主要有电控单元、化学液供应单元和反应腔体单元, 其技术开发的核心是反应腔体的设计。
2.2 反应腔体单元结构设计
全自动旋转去胶机的反应腔体主要由三大部分组成:摆臂系统、夹持系统和回收腔。其中, 摆臂系统主要完成反应腔体化学液体、氮气以及水的传送, 在该系统中所有反应物质通过该系统实现在清洗目标硅片上的均匀分布, 提高去胶效果;夹持系统主要完成去胶硅片的夹持工作, 在夹持硅片的过程中利用气压传动技术实现其高速旋转, 同时保证硅片正面清洁无污染, 为提高去胶效果, 该系统还可以同时完成直线上下和旋转运动;回收腔主要完成化学液和水的回收, 为提高化学液的利用效率实现循环利用, 回收腔采用分层设计, 不同的化学液体将在回收腔中实现分类回收。
该反应腔体结构示意图如图3 所示。该反应腔体在摇摆送液手臂以及其他装置的作用下, 可以完成不同种类化学去胶以及水洗清洁干燥等自动化同时进行, 实现良好的去胶效果。该装置工作时, 首先会将通过夹持装置将目标硅片锁定在腔体的底层, 通过摆臂系统均匀将一种化学液喷洒在硅片上, 并完成去胶和回收;再通过夹持装置将硅片提升至图3 所示位置, 摆臂系统再次输送其他化学液, 完成去胶和废液回收;最后直至光刻胶去除完全后, 硅片在夹持系统作用下升至顶部, 完成水洗、干燥和废液回收, 完成整个去胶工序。
2.3 主要技术指标及效益
通过对面向LED芯片制造和高端封装旋转式去胶机的设计与研究, 设备达到如下指标:1) 晶片尺寸:准200~300 mm;2) 去胶腔体:2~4 个;3) 去胶方式:全自动单片旋转湿法喷淋式、化学液高压喷射和兆声波;4) 去除胶层:5 ~50 μm正胶、50 ~120 μm负胶;5) 去胶化学液:含DMSO、NMP等各种去胶液;6) 去胶液温度:25~80 ℃, 1 ℃;7) 去胶速率:10~20 μm/min以上;8) 颗粒去除:0.5 μm颗粒95%以上。
市场需求不断提高, 生产工艺技术不断改进等外、内部因素无不促使面向LED芯片制造和高端封去胶设备需不断进步, 这样才能在涉及半导体、光通信、PCB等领域充分满足不同客户的需求。
3 结论
面向LED芯片制造和高端封装旋转式去胶机的设计与研究可以对当前封装领域去胶设备有效补充, 同时该设备研究可以实现快速去除厚度在50~120 μm的厚感光胶膜;清洗Bump根部和3D-TSV深孔底部的光刻胶残留;单片去胶时, 硅片正面喷洒化学液, 有效地保护硅片的背面不被化学液污染;有效设计反应胶, 通过进风与排风的有效配合, 使整个腔体内部流动的气体形成层流, 从而带走去胶过程所形成的水气和溅射出的光刻胶, 避免硅片表面的二次污染;新型化学液供应系统, 在化学液喷洒过程中保持稳定的工作温度, 尤其是在某些制程需要高温化学液 (如70 ℃) ;能够回收喷洒后的化学液, 在线去除化学液中的光刻胶残留, 循环使用化学液, 节约成本等显著特点, 具有十分重要的现实应用价值。
参考文献
[1]杨庆华, 付庄, 张军, 等.太阳能电池自动封装系统的研究[J].组合机床与自动化加工技术, 2003 (8) :10-11.
[2]童志义.蚀刻设备的现状与发展趋势[J].电子工业专用设备, 2008 (6) :3-9.
[3]吴向东.三维集成封装中的TSV互连工艺研究进展[J].电子与封装, 2012, 12 (9) :1-5.
[4]朱福运, 于民, 金玉丰, 等.硅DRIE刻蚀工艺模拟研究[J].中国电子科学研究院学报, 2011 (1) :28-30.